汤章阳
- 作品数：11 被引量：10H指数：1
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- 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器
- 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器，包括感压膜片、双端固支谐振梁、激励-拾振电阻和锁相闭环电路。被测压力直接作用于感压膜片的下表面并使其发生变形。感压膜片的变形引起固定于感压膜片上表面的双端固支谐振梁内应...
- 樊尚春李庆丰邢维巍孙苗苗汤章阳
- 一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统
- 针对硅微机械谐振式压力传感器,设计了一种新型的专用频率特性测试系统,采用直接相关原理进行微弱信号检测,简化了模拟电路设计;提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明：系统实现了对硅微机械谐振式压力...
- 汤章阳樊尚春蔡晨光
- 关键词：谐振式传感器压力传感器频率特性测试系统微弱信号检测
- 文献传递
- 硅谐振式压力传感器静态特性测试被引量：1
- 2009年
- 讨论了一种硅谐振式压力传感器静态特性测试。该传感器采用复合敏感结构，以方形膜片为直接感压元件，谐振梁为谐振敏感元件，采用硅微机械加工工艺制作而成；针对其拾振信号特点，设计了基于锁定放大原理的闭环系统，保证传感器工作时的谐振状态。对真空封装后的2只传感器进行了静态特性测试，比较实验结果可知机械品质因数（Q值）较高的传感器的重复性和综合误差明显优于Q值较低的传感器。
- 汤章阳樊尚春蔡晨光
- 关键词：压力传感器谐振式硅微机械闭环系统
- 谐振式微小型压力传感器数字闭环系统被引量：7
- 2006年
- 在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测、闭环自激电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.复合音叉微小型谐振式压力传感器数字锁相环闭环检测系统将输入的模拟信号(压力)直接转换为准数字量(频率),测量精度高,基本上解决了测量系统中结构参数小、工作频率高、信号幅度弱、耦合强、干扰大等问题,该方法可直接应用于硅谐振式微传感器,对实现硅谐振微传感器的工程化具有指导意义.
- 周浩敏赵巧转汤章阳
- 关键词：微传感器锁相环数字信号处理器
- 谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素被引量：1
- 2012年
- 动态特性是传感器的一个重要的性能指标。本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素,并进行了相应的实验研究。由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个:谐振器固有频率对压力的响应时间;谐振器稳定振动的建立时间;信号处理与数据处理时间。对闭环系统内部控制过程及实验结果的分析表明,谐振器稳定振动的建立时间为主要因素。研究结果为设计闭环系统动态特性改善方案提供了依据。
- 邢维巍冯晓妍樊尚春汤章阳
- 关键词：谐振式传感器闭环系统动态特性
- 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器
- 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器，包括感压膜片、双端固支谐振梁、激励-拾振电阻和锁相闭环电路。被测压力直接作用于感压膜片的下表面并使其发生变形。感压膜片的变形引起固定于感压膜片上表面的双端固支谐振梁内应...
- 樊尚春李庆丰邢维巍孙苗苗汤章阳
- 文献传递
- 微机械谐振器的快速测试方法被引量：1
- 2012年
- 为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,积分器和微处理器实现对微弱信号的有效检测。欧姆鉴相器以检测电阻为鉴相器,利用欧姆定律实现参考信号和被测信号的乘法鉴相运算;通过积分器实现对鉴相结果的积分运算,抑制干扰和噪声;微处理器用于对积分数据的采样并处理。实验结果表明:微谐振器快速测试方法样机的等效输入噪声指标约为槡2.7 nV/Hz,单频率点的测量时间为4 ms,与商用锁相放大器(LIA)相比,测量效率大大提高了。
- 邢维巍张晓灿樊尚春汤章阳
- 关键词：微机械谐振器压阻检测微弱信号检测信噪比
- 一种双谐振梁式微机械压力传感器
- 一种双谐振梁式微机械压力传感器，主要包括：感压膜片、非感压区、谐振工作梁和谐振补偿梁四部分，结构中央为矩形感压膜片，敏感被测压力产生相应变形；感压膜片周边部分为非感压区，不敏感被测压力；感压膜片周边固支在非感压区的内壁上...
- 樊尚春汤章阳刘广玉
- 文献传递
- 一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统
- 2009年
- 针对硅微机械谐振式压力传感器,设计了一种新型的专用频率特性测试系统,采用直接相关原理进行微弱信号检测,简化了模拟电路设计;提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明:系统实现了对硅微机械谐振式压力传感器的幅频和相频特性的同时测量,实测结果与理论值符合,不仅给出了闭环设计的必要参数,同时为加工工艺的改进提供了重要信息。
- 汤章阳樊尚春蔡晨光
- 关键词：谐振式传感器微弱信号检测
- 硅谐振式压力传感器静态特性测试
- 讨论了一种硅谐振式压力传感器静态特性测试。该传感器采用复合敏感结构,以方形膜片为直接感压元件,谐振梁为谐振敏感元件,采用硅微机械加工工艺制作而成;针对其拾振信号特点,设计了基于锁定放大原理的闭环系统,保证传感器工作时的谐...
- 汤章阳樊尚春蔡晨光
- 关键词：谐振式压力传感器硅微机械闭环系统静态特性测试实验
- 文献传递
