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沈今楷
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院电子信息工程系
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发文基金:
河北省自然科学基金
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相关领域:
机械工程
化学工程
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合作作者
孙以材
河北工业大学信息工程学院电子信...
杨瑞霞
河北工业大学信息工程学院电子信...
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河北工业大学
作者
1篇
沈今楷
1篇
杨瑞霞
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孙以材
传媒
1篇
传感器技术
年份
1篇
1999
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压力传感器芯片的低温玻璃封接技术
被引量:8
1999年
在硅杯背面制备过渡层,然后用低温玻璃焊料将压力传感器芯片与玻璃基座封接在一起,有效地降低了热应力。采用这种新工艺制造出的压力传感器,性能良好,封接强度达7MPa,提高了可靠性与稳定性。
沈今楷
孙以材
常志宏
贾德贵
孟庆浩
高振斌
杨瑞霞
关键词:
压力传感器
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