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祝江平

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性实验室更多>>
发文基金:教育部科学技术研究重点项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇弹性模量
  • 1篇内应力

机构

  • 1篇北京师范大学

作者

  • 1篇祝江平
  • 1篇艾利娟
  • 1篇吴晓玲
  • 1篇郑瑞廷
  • 1篇程国安

传媒

  • 1篇北京师范大学...

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响
2011年
利用直流磁控溅射方法制备了Fe/Cu纳米多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、薄膜应力分布测试仪和纳米压痕技术研究了不同周期结构Fe/Cu纳米多层薄膜的内应力及其纳米力学性能.在Fe/Cu纳米多层薄膜中,由于铁和铜的结构和本征性能的差异,形成多层膜结构后存在张应力,其张应力在周期T=10时达到910.08 MPa,对应的纳米硬度为12.3 GPa.随着多层薄膜调制周期数T的增加而内应力逐渐降低,纳米硬度和弹性模量随着张应力缓释也出现下降.根据纳米薄膜内应力对其力学性能的影响,探讨了内应力与薄膜纳米力学性能的相关性.
艾利娟祝江平吴晓玲郑瑞廷程国安
关键词:内应力弹性模量
共1页<1>
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