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董莹
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4
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
雒建斌
清华大学
戴媛静
清华大学
路新春
清华大学
刘静
清华大学
刘冉
清华大学
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四唑
2篇
酮基
2篇
铜表面
2篇
铜布线
2篇
抛光
2篇
缓蚀
2篇
缓蚀剂
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1篇
第一性原理计...
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动力学
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动力学模拟
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肿瘤化学
1篇
肿瘤热
1篇
注射装置
1篇
晶界
机构
4篇
清华大学
作者
4篇
董莹
2篇
路新春
2篇
戴媛静
2篇
雒建斌
1篇
赖文生
1篇
徐迪
1篇
王飞
1篇
黄昱
1篇
刘冉
1篇
刘静
年份
1篇
2017
1篇
2014
1篇
2012
1篇
2008
共
4
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缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂,其结构为(I)所示。进一步地,本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂,适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春
董莹
戴媛静
雒建斌
文献传递
晶界/界面对若干核材料辐照/阻氚性能的影响研究
晶界/界面是多晶(相)材料中常见的晶体缺陷,其对材料的性能有着重要的影响。本文以核反应堆结构材料Zr 和纳米结构铁素体钢(ODS)为对象,采用经典分子动力学模拟研究了晶界热阻效应对a-Zr 晶内辐照损伤的影响,并对比研究...
赖文生
王飞
孙祎强
董莹
金亚楠
关键词:
分子动力学模拟
第一性原理计算
缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂,其结构为(I)所示。进一步地,本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂,适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春
董莹
戴媛静
雒建斌
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置,属于医疗器械技术领域。该装置由控制及显示装置、玻璃管封装的热电偶或pH传感器和一路或多路注射系统组成,每路注射系统包括步进电机、蠕动泵、试剂瓶、耐酸碱胶管以及注射微针。本发...
黄昱
董莹
徐迪
刘冉
刘静
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