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董莹

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇四唑
  • 2篇酮基
  • 2篇铜表面
  • 2篇铜布线
  • 2篇抛光
  • 2篇缓蚀
  • 2篇缓蚀剂
  • 2篇机械抛光
  • 1篇第一性原理
  • 1篇第一性原理计...
  • 1篇动力学
  • 1篇动力学模拟
  • 1篇手术
  • 1篇手术模式
  • 1篇热化学
  • 1篇肿瘤
  • 1篇肿瘤化学
  • 1篇肿瘤热
  • 1篇注射装置
  • 1篇晶界

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇董莹
  • 2篇路新春
  • 2篇戴媛静
  • 2篇雒建斌
  • 1篇赖文生
  • 1篇徐迪
  • 1篇王飞
  • 1篇黄昱
  • 1篇刘冉
  • 1篇刘静

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2008
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂，其结构为(I)所示。进一步地，本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂，适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春董莹戴媛静雒建斌
文献传递
晶界/界面对若干核材料辐照/阻氚性能的影响研究
晶界/界面是多晶(相)材料中常见的晶体缺陷，其对材料的性能有着重要的影响。本文以核反应堆结构材料Zr 和纳米结构铁素体钢(ODS)为对象，采用经典分子动力学模拟研究了晶界热阻效应对a-Zr 晶内辐照损伤的影响，并对比研究...
赖文生王飞孙祎强董莹金亚楠
关键词：分子动力学模拟第一性原理计算
缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂，其结构为(I)所示。进一步地，本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂，适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春董莹戴媛静雒建斌
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置，属于医疗器械技术领域。该装置由控制及显示装置、玻璃管封装的热电偶或pH传感器和一路或多路注射系统组成，每路注射系统包括步进电机、蠕动泵、试剂瓶、耐酸碱胶管以及注射微针。本发...
黄昱董莹徐迪刘冉刘静
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