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许明

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学材料科学与工程学院金属材料强度国家重点实验室更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇压痕
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压痕
  • 1篇纳米压痕法
  • 1篇金属多层膜
  • 1篇基底
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇许明
  • 1篇黄平
  • 1篇胡永峰
  • 1篇刘明霞
  • 1篇徐可为

传媒

  • 1篇中国力学学会...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金属多层膜硬度基底效应的纳米压痕法研究
采用磁控溅射法在不锈钢、玻璃、单晶Si及Al2O3四种基底上制备了不同调制波长的Ni/Al纳米多层膜，用MTS的纳米压入仪的连续刚度法研究了不同基底上薄膜硬度测量值随压入深度的演变。结果表明，对软膜-硬基体系在压入深度较...
许明黄平胡永峰刘明霞徐可为
关键词：金属多层膜纳米压痕法磁控溅射法
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