谷宇
- 作品数：15 被引量：4H指数：1
- 供职机构：清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信电气工程更多>>
- 离子束辅助沉积Co50Nb50薄膜表面结构的研究
- 本文利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响。实验中,离子束入射角分别为0°、30°、45°、75°...
- 吕方曾飞谷宇潘峰
- 文献传递
- 离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
- 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm 的 CoNb薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响。实验中,离子束入射角分别为 0°,30°,45°,75°和8...
- 吕方曾飞谷宇潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积微结构
- 文献传递
- 斜离子束辅助沉积对Co80Nb20薄膜结构及磁性能的影响
- 本文采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响.结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固...
- 李晓伟丁宇清曾飞谷宇耿魁伟潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积入射角合金薄膜
- 文献传递
- 离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
- 2007年
- 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响.实验中,离子束入射角分别为0°,30°,45°,75°和85°(掠射).研究结果表明,所得到的薄膜均为非晶结构.离子束垂直入射(0°入射)时,薄膜表面产生渗流花样;入射角为30°时,渗流现象更加明显,薄膜表面粗糙度增大;随入射角增至45°,表面渗流现象减弱,薄膜变得平整;当入射角进一步增加到为75°,薄膜表面出现平行于入射方向的纳米条纹;离子束掠入射(85°入射)时,薄膜表面条纹的平均宽度减小,均匀性提高.研究表明上述表面结构的变化是原子沉积、离子束溅射和沉积原子热扩散共同作用的结果.
- 吕方曾飞谷宇潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积微结构
- Fe/Sm薄膜的微结构与磁学性能的研究
- 本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Sm金属多层膜,研究了Fe/Sm多层膜的微结构与磁矩振荡现象。本实验中制备了一组固定Sm层厚度为6.0nm,改变Fe层厚度0.8-6.0nm的Fe/Sm多层膜。用小角X射线衍射来测定样品...
- 李丹杨国华耿魁伟谷宇曾飞潘峰
- 离子束辅助沉积入射角对FeXCr1-X薄膜微结构及磁性的影响
- 离子束入射角度对薄膜结构及性能的影响在近年来得到了广泛的关注。在Al、Nb以及Hf等纯金属薄膜中已有较深入的研究,并有相关理论提出。本文选择了Fe-Cr二元金属系统,采用离子束辅助沉积技术,进一步探索了离子束入射角对Fe...
- 谷宇曾飞耿魁伟潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积入射角磁各向异性
- 文献传递
- 超高真空电子束蒸镀Fe/Ru多层膜的结构和磁性
- 本文采用超高真空电子束蒸镀方法制备了Fe/Ru多层膜,Ru层厚度固定为2nm,Fe层厚度为0.6～5nm,研究了Fe层厚度的变化对薄膜结构及其磁性能的影响.Fe层厚度小于5nm时,受Ru层HCP结构的影响,Fe层生长为六...
- 耿魁伟曾飞谷宇李晓伟宋成潘峰
- 关键词：磁性亚稳相
- 文献传递
- 离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长
- 2007年
- 高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子的注入角度对薄膜的织构形成的影响。结果表明,薄膜织构度对辅助离子束入射角度非常敏感,在辅助离子束入射角为35°时,薄膜(111)织构最强,电阻率最小,附着力最好,适合于声表面波器件中的应用。
- 谷宇曾飞高阳潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积入射角机械性能沟道效应
- Fe/V多层膜中亚稳结构Fe的形成及其磁学性能
- 2006年
- 采用电子束蒸镀的方法,通过改变多层膜的周期结构,成功地制备出具有不同晶格常数的bcc亚稳结构铁相的Fe/V多层膜,并研究了亚稳结构铁相形成对其磁性影响的规律。实验结果表明,多层膜中Fe与V层均由纳米晶粒组成。Fe层厚度小于2nm时,受多层膜界面自由能作用,Fe与V相互准外延生长,多层膜由点阵常数一致的体心立方相组成,其点阵常数随样品V/Fe层厚度比的增大而增加。多层膜平均原子磁矩随铁或钒层厚度的改变发生明显变化:当钒层厚度固定为6nm时,铁原子磁矩随铁层厚度的增加逐渐下降,在2nm处出现极小值后又随铁层增厚而回升;对于铁层厚度固定为1.6nm的样品,磁矩在钒层厚度为3nm时出现极大值。
- 徐迪曾飞孔令体耿魁伟谷宇潘峰
- 关键词：多层膜原子磁矩
- 斜离子束辅助沉积对Co_(30)Nb_(70)薄膜结构及其热稳定性的影响被引量：3
- 2006年
- 本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响。实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构。所有样品经300℃退火30 min,入射角为45°制备的样品出现强织构bcc亚稳相,其它入射角沉积的样品均保持非晶相。继续将样品在450℃退火30 min,入射角45°沉积的样品中bcc亚稳相消失,溶入非晶相;15°和75°入射沉积的样品开始晶化。分析认为:离子束入射角变化引起的原子混合效应的改变,以及薄膜中的多孔结构对上述变化有重要影响。
- 丁宇清曾飞谷宇耿魁伟潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积非晶多孔结构入射角热稳定性
