郭钊
- 作品数:2 被引量:28H指数:1
- 供职机构:清华大学理学院物理系更多>>
- 发文基金:北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电气工程更多>>
- 1mm压电柱式超声微电机的研制被引量:28
- 2004年
- 介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800 rpm的转速和4 μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5 mm左右。
- 张凯周铁英王欢袁世明郭钊姜开利白桂珍
- 关键词:驱动电压极化方式逆压电效应
- 1mm压电柱超声微电机研制
- <正> 1 导言压电超声电机是利用压电材料的逆压电效应,采取特定的结构制成的驱动机构,它一般由定子、转子以及预压力机构等功能部件构成。它利用压电陶瓷的逆压电效应,在定子表面产生超声
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- 文献传递