- 稀土掺杂SiC/_xN/_y薄膜制备及其性质研究
- SiCN是一种新颖的硅基光电材料,而稀土掺杂是一种进一步优化SiCN光学性能的有益尝试,我们制备并研究了稀土掺杂与未掺杂SiCN薄膜。
/(1/) SiCxNy薄膜的制备和性质研究
利用射频溅射法在S...
- 陈支勇
- 关键词：光致发光电致发光
- 文献传递
- 石英衬底上溅射制备纳米SiCN薄膜
- 2006年
- 利用射频溅射方法在石英玻璃上沉积了纳米结构硅碳氮(SiCN)薄膜.SiCN薄膜表面由平均直径约50nm的SiCN纳米颗粒组成,这些纳米颗粒的紧密分布构造了薄膜的致密表面.纳米SiCN薄膜呈现出典型的半导体导电特征.通过调整N2流量参数可以获得不同带隙的SiCN薄膜材料,这种带隙可调的纳米结构SiCN薄膜在未来的半导体光电器件应用领域会有广阔的应用前景.
- 林洪峰谢二庆张军颜小琴陈支勇
- 关键词：溅射
- 反应溅射CN薄膜的场发射特性
- 2006年
- 利用反应射频溅射方法在硅单晶衬底上沉积碳氮(CN)薄膜.原子力显微镜(AFM)研究结果表明,CN薄膜表面覆盖有纳米CN锥状物,所制备的CN薄膜具有良好的场发射特性,最大发射电流密度达到～10mA/cm2,并且未出现电流饱和现象.薄膜表面的CN纳米锥有利于薄膜的场发射,重复测量结果表明,CN薄膜的发射特性得到改善和提高.
- 林洪峰谢二庆张军颜小琴陈支勇
- 关键词：反应溅射场发射
