任刚
- 作品数：33 被引量：36H指数：4
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究被引量：7
- 2007年
- 为实现基于InP/InGaAsP材料的二维光子晶体结构低损伤、高各向异性的干法刻蚀,研究了对InP材料基于Cl2/BCl3气体的感应耦合等离子体刻蚀.从等离子体轰击使衬底升温的角度分析了刻蚀机理,发现离子轰击加热引起的侧蚀与物理溅射在侧壁再沉积之间处于平衡时可以得到高各向异性刻蚀,平衡点将随ICP功率增高而向偏压减小方向移动,从而在近203V偏压下得到陡直的侧壁.在优化气体组分后,成功实现了光子晶体结构高各向异性的低偏压刻蚀.
- 马小涛郑婉华任刚樊中朝陈良惠
- 关键词：光子晶体感应耦合等离子体
- 慢光在光子晶体弯曲波导中的高透射传播
- 光子晶体是一种介质折射率周期分布的材料,可以有效地调制光子态密度和色散曲线,一经提出便受到了广泛的关注。在某些色散曲线非常平坦的频率区域,光子群速度很低,称为光子晶体的慢光效应。该效应已经广泛应用于非线性光学,微纳光学缓...
- 杜晓宇郑婉华张冶金任刚王科邢名欣陈良惠
- 关键词：光子晶体弯曲波导
- 二维光子晶体耦合腔阵列的慢波效应研究
- 本文设计了一种六角晶格二维光子晶体耦合腔阵列,其能带结构表现出新奇的特性.处于禁带中的耦合缺陷腔模的色散曲线在光子晶体平面内所有方向更加平坦.模拟了横电波沿ΓK方向的透射谱.与光子晶体单缺陷腔相比,耦合腔阵列结构的缺陷腔...
- 杜晓宇郑婉华任刚王科邢名欣马小涛陈良惠
- 关键词：光子晶体透射率慢波效应
- 先进半导体光子晶体激光器技术研究
- 郑婉华陈良惠渠红伟张冶金王宇飞刘安金任刚江斌冯志刚刘磊
- 该成果属于新材料和信息光电子领域。主要创新点有：1.率先开发出多种光学泵浦光子晶体微腔激光器，激光振荡模式在百纳米量级，比传统激光器的模式尺寸小3到6个量级。2.提出新型集成透镜型电注入光子晶体面发射激光器，发散角低至3...
- 关键词：
- 关键词：半导体激光器光子晶体激光器
- 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器
- 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周...
- 郑婉华邢名欣任刚刘安金陈微周文君陈良惠
- 二维光子晶体耦合腔阵列的慢波效应研究被引量：15
- 2008年
- 设计了一种六角晶格二维光子晶体耦合腔阵列,平面波展开法计算能带表明,处于禁带中的耦合缺陷腔模的色散曲线在光子晶体平面内所有k矢量方向更加平坦.模拟了横电波沿ΓK方向的透射谱.与光子晶体单缺陷腔相比,耦合腔阵列结构的缺陷腔模透射率提高三个量级以上,而群速度降低一个量级,得到0.007c的结果.该慢波效应在构造微型可调谐光延迟器和低阈值光子晶体激光器等方面具有潜在的应用前景.
- 杜晓宇郑婉华任刚王科邢名欣陈良惠
- 关键词：光子晶体慢波透射率
- 一种双色量子阱红外探测器顶部光栅的设计及优化
- 本文采用三维时域有限差分算法(3D-FDTD)对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器(QWIP)的顶部光栅结构的光场分布进行了仿真分析,得到了多种不同周期、占空比、深度的二维光子晶体结构耦合效率及电磁场分布.设计了一种...
- 王科郑婉华马小涛任刚杜晓宇邢名欣陈良惠
- 关键词：红外探测器光子晶体
- 采用光子晶体微腔和晶片键合技术实现电注入的单光子源
- 本发明公开了一种采用光子晶体微腔和晶片键合技术实现电注入的单光子源，该单光子源由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、光子晶体微腔、上DBR、p型接触层和上电极构成。其中，该单光子源的光子晶体微腔是半导体量子点光子晶体...
- 郑婉华刘安金任刚邢名欣渠宏伟陈良惠
- 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器
- 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周...
- 郑婉华邢名欣任刚刘安金陈微周文君陈良惠
- 光子晶体环形腔的模式分析
- 回音壁模式是圆形介电材料光学微腔中光波被边界处连续全内反射而形成的一种光场模式,这种 WG 模式具有极高的品质因子和极小的模式体积,同时,这种光学微腔制备相对简单,因此在光子学和光子集成方面的研究中引起极大关注。众所周知...
- 邢名欣郑婉华张冶金任刚杜晓宇王科陈良惠
- 关键词：光子晶体环形腔滤波器
