佟建华
- 作品数：12 被引量：14H指数：2
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院微系统研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电气工程一般工业技术更多>>
- 串联弯曲臂压电微电机驱动机理分析及实验研究被引量：1
- 2003年
- 把两片压电双晶片串联在一起,构成串联弯曲臂。一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率方波信号的驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹。以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机。对串联弯曲臂的驱动机理进行了分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了直径为5 mm的串联弯曲臂压电微电机样机,对样机的性能参数进行了测试,转速可达325 r/min,转矩可以达到36.5μΝ·m。
- 佟建华邵培革王立鼎刘冲
- 关键词：压电微电机
- 基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究
- 2005年
- 采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.
- 崔岩佟建华董维杰王立鼎
- 关键词：PZT薄膜微力传感器
- 压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究
- 该文在对国内外压电式微型传感器和微型执行器的研究现状和存在的问题进行了深入分析和研究的基础上，利用压电双晶梁的结构和功能特点，将其应用于压电微型电机的驱动和微力学量的测量两个方面。
主要的研究工作：
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- 佟建华
- 关键词：压电微电机PZT薄膜微力传感器
- 文献传递
- 基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究
- 本文采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶...
- 崔岩佟建华董维杰王立鼎
- 关键词：PZT薄膜微力传感器
- 文献传递
- 基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作被引量：1
- 2005年
- 设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.
- 刘梦伟佟建华崔天宏董维杰崔岩王兢王立鼎
- 关键词：PZT薄膜压电微悬臂梁
- 改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜
- 采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr<,0.50>Ti<,0.50>)O<,3>薄膜,在600℃的退火系统下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱...
- 刘梦伟佟建华王兢董维杰崔天宏王立鼎
- 关键词：溶胶-凝胶PZT薄膜介电性能
- 文献传递
- 硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用被引量：1
- 2004年
- 在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元。这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明。
- 佟建华刘梦伟崔岩董维杰王兢崔天宏王立鼎
- 改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜被引量：2
- 2004年
- 采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr0.50Ti0.50)O3薄膜,在600℃的退火条件下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数随测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.
- 刘梦伟佟建华王兢董维杰崔天宏王立鼎
- 关键词：溶胶-凝胶PZT薄膜厚度介电性能
- 串联弯曲臂压电微电机机理初步研究被引量：2
- 2002年
- 把两片压电双晶片 (PZTBimorph)串联在一起 ,构成串联弯曲臂。一端固定 ,另一端自由时 ,在相位差为π/ 2的一定频率的方波信号驱动下 ,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹。以串联弯曲臂为驱动元件 ,可用来驱动与其端面相接触的转子转动 ,构成串联弯曲臂式压电微电机。本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析 ,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上 ,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机 ,并且对样机的性能参数进行测试 ,转速可以达到 110rpm ,输出转矩可以达到2 2 5 μNm .
- 佟建华邵培革王立鼎
- 关键词：压电微电机
- 基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片被引量：6
- 2006年
- 为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备了厚度不同（300-800nm）的锆钛酸铅（Pb（ZrxTi1-x）O3）薄膜，薄膜表面均匀，无裂纹。通过测试和分析，研究了PZT薄膜的制备工艺参数和压电、铁电、阻抗特性。采用微机械加工手段制作了长度为1000μm、500μm、250μm的硅基PZT薄膜微型悬臂结构。当在悬臂的自由端沿着厚度方向施加毫克级的微小力时，微型悬臂就会在厚度方向发生弯曲和振动，通过测量在压电材料表面电极上的电荷量，并通过计算可得到微型悬臂所受的集中力的大小，实现微力的测量。该文还对微力传感芯片的工作方式进行了研究，初步设计了传感器系统模型。
- 佟建华刘梦伟崔岩王兢崔天宏王立鼎
- 关键词：PZT薄膜微力传感器
