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刘福君

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇研磨
  • 1篇研磨技术
  • 1篇超精
  • 1篇超精密

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇刘福君
  • 1篇董申
  • 1篇庞滔

传媒

  • 1篇机械制造

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新原理超精密研磨技术被引量：1
1990年
最新的技术发展已对精密零件提出了新的要求。在电子工业、激光等领域需要不断提高零件尺寸和形状精度以及晶体结晶的完整性。对于集成电路基板的硅片,要达到1～2nm的粗糙度和无损伤表面,这就要进行原子级的研磨抛光。国外一些学者对于这种微小量破坏的可能性进行了探讨,提出了几种用新的原理进行超精密研磨的方法,简单介绍给作者。
刘福君庞滔董申
关键词：研磨
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