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叶能

作品数：3 被引量：4H指数：2
供职机构：武汉工业大学材料科学与工程学院新材料研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇电子结构
  • 1篇氧化砷
  • 1篇酸盐
  • 1篇陶瓷
  • 1篇子结构
  • 1篇钛酸
  • 1篇钛酸盐
  • 1篇微波
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇微波合成
  • 1篇微波频率
  • 1篇粉料
  • 1篇钡化合物
  • 1篇SNO

机构

  • 3篇武汉工业大学

作者

  • 3篇叶能
  • 2篇欧阳世翕
  • 1篇刘韩星

传媒

  • 1篇功能材料
  • 1篇高技术通讯
  • 1篇’94秋季中...

年份

  • 2篇1994
  • 1篇1992
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微波等离子体CVD法制备β-SiC薄膜被引量：2
1992年
本研究采用微波等离子体化学气相沉积法(MWPCVD),以三氯甲基硅烷和氢气为原料,在高纯石墨基片上制备出β-SiC多晶薄膜。随沉积条件不同,其薄膜有黑、灰、黄、褐等4种典型颜色。实验表明,氢气与三氯甲基硅烷的比率是影响薄膜外观颜色的最主要因素。XRD分析表明,黑色薄膜中存在游离碳,黄色及褐色薄膜中含有游离硅,仅灰色薄膜组分较纯。该法制备薄膜生长速度快且晶粒均匀细小。光电子能谱分析发现薄膜表面存在二氧化硅、吸附氧及CHx基团等,这是薄膜制备中的主要杂质。
欧阳世翕程吉平王新祥陈丹平叶能
关键词：微波等离子体
SnO_2纳米粒子的微波等离子制备及电子结构研究被引量：2
1994年
采用未见报道的ＳｎＯ＿２微波等离子体化学气相沉积法制备出了平均粒径小于１０ｎｍ的ＳｎＯ＿２粒子，ＸＰＳ分析结果表明其内部电子结构发生了变化。
叶能刘韩星陈丹平欧阳世翕
关键词：微波等离子体电子结构氧化砷
微波合成ＢａＴｉＯ<,3>陶瓷粉料的研究
李永伟叶能
关键词：钛酸盐钡化合物陶瓷微波频率
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共1页<1>
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