李敬起
- 作品数：9 被引量：33H指数：4
- 供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术航空宇航科学技术更多>>
- 金刚石膜高能粒子探测器被引量：10
- 1997年
- 评述了金刚石膜探测器的优缺点，简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器，以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。
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- 关键词：金刚石膜
- 金刚石薄膜
- 1991年
- 简要介绍了金刚石薄膜的研制历史。介绍了金刚石的结构和性质。文中的第三部分介绍了金刚石薄膜在机械、电子、半导体、光学等领域中的应用。又以其主要的制作法——微波法、热丝法为重点阐述了金刚石薄膜研制工作中的新进展。
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- 关键词：金刚石薄膜真空镀膜
- 金刚石膜在宇航应用中的新进展被引量：10
- 1997年
- 金刚石膜的研究已进入了以应用为主的阶段。介绍了金刚石膜的最新发展水平；概括了它们在空间光学、摩擦润滑，空间电子装置的热管理和环境探测方面的一些应用；指出了金刚石膜在航天工业中的重要性，它们的相互促进关系和发展前景。
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- 关键词：金刚石
- 微波等离子体化学气相沉积金刚石簿膜被引量：1
- 1994年
- 建立了一台微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的设备。该实验装置由以下几部分组成：微波源及传输系统、反应室、供气系统、真空系统和检测等五部分组成。沉积室是由长７０ｍｍ直径４６ｍｍ的石英管组成的。分别采用ＣＨ４／Ｈ２和ＣＯ／Ｈ２混合气体进行了沉积试验；研究了沉积参数对沉积金刚石膜的影响。在直径３０ｍｍ的单晶硅片和石英片上沉积出了均匀的金刚石膜。采用ＣＨ４／Ｃ２混合气体时，沉积速率在０．５～１．０μｍ／ｈ之间，这与原有的热灯丝方法相近。采用ＣＯ／Ｈ２混合气体时，沉积速率可达到１．７μｍ／ｈ。
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- 关键词：金刚石膜微波等离子体化学气相沉积
- 金刚石红外增透保护膜被引量：7
- 1996年
- 金刚石在红外区具有很好的透过率，可用作红外光学保护材料。另外，金刚石又具有优越的机械、热学、化学性能，可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜，测量其红外透过率，在２．５～１５μｍ波长范围内透过率都有所增加，最高处透过率从５２％提高到６４．１％。
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- 关键词：金刚石薄膜保护膜
- 提高金刚石膜电阻率的几种方法被引量：3
- 1997年
- 金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对其优缺点进行了比较。
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- 关键词：金刚石薄膜电阻率后处理退火
- 金刚石-硫化锌复合窗口的弹性应变研究被引量：4
- 2002年
- 对于金刚石-硫化锌复合红外光学窗口,结构中存在的热应力和挠曲度的大小对其可靠性有很大的影响。利用弹性应变模型研究了在光学焊接中不同粘接温度和金刚石厚度下金刚石-硫化锌复合窗口将发生的最大应力、曲率和衬底到边缘的挠曲度。计算结果表明,当膜厚在极值附近时,复合结构明显弯曲、ZnS表面的应力极大;如果粘接温度较高,复合结构将严重变形,ZnS中所受的应力可能会超过其自身的断裂强度。当对金刚石-硫化锌复合红外窗口设计时,了解结构中存在的热应力和挠曲度的大小是很有用的。
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- 化学气相沉积金刚石膜的光学性质被引量：1
- 2003年
- 多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关 .采用一较为完备的金刚石透过率模型 ,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质 .并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对 CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响 。
- 张继华李敬起孙亦宁郭晚土高欣雷青松王曦柳湘怀
- 关键词：金刚石膜光学性质化学气相沉积透过率表面粗糙度
- 由红外透过谱确定金刚石膜的光学常数及相关因素被引量：3
- 2001年
- 结合金刚石膜的具体情况 ,考虑到色散效应、膜的微结构、表面粗糙度及样品中自由载流子和C -H的吸收等多种因素对红外透过谱的影响 ,在无吸收单层膜透过率模型的基础上进行了修正 ,给出了自支撑金刚石薄膜透过率的数学模型。并对不同制备方法和工艺参数下沉积的金刚石膜的红外透过谱用Levenberg -Marquardt算法进行非线性最小二乘拟合 ,从而确定出样品的红外光学常数和其它影响透过率的因素。
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- 关键词：光学常数透过率金刚石膜
