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涂德钰

作品数：66 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 56篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 22篇纳米
  • 20篇分子
  • 18篇微电子
  • 14篇刻蚀
  • 13篇微电子学
  • 13篇光刻
  • 11篇电极
  • 10篇有机半导体
  • 10篇金属
  • 10篇抗蚀剂
  • 10篇交叉线
  • 10篇分子电子学
  • 10篇半导体
  • 8篇电子束光刻
  • 8篇有机分子
  • 8篇微细
  • 8篇微细加工
  • 8篇场效应
  • 7篇电子器件
  • 7篇纳米压印

机构

  • 66篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 66篇涂德钰
  • 65篇刘明
  • 38篇商立伟
  • 28篇王丛舜
  • 23篇谢常青
  • 18篇刘兴华
  • 17篇刘舸
  • 11篇陈宝钦
  • 11篇龙世兵
  • 10篇贾锐
  • 9篇甄丽娟
  • 7篇刘新华
  • 6篇李维龙
  • 5篇刘琦
  • 5篇姬濯宇
  • 5篇王琴
  • 3篇陈晨
  • 3篇易里成荣
  • 3篇牛洁斌
  • 3篇王慰

传媒

  • 3篇Journa...
  • 2篇物理
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 1篇2012
  • 5篇2011
  • 7篇2010
  • 24篇2009
  • 11篇2008
  • 13篇2007
  • 4篇2006
  • 1篇2005
共 66 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法
本发明公开了一种用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法，包括：清洗基片，烘干；在基片上旋涂LOR型抗蚀剂作为双层胶的底层胶，烘干；在LOR层上旋涂ZEP520型电子束抗蚀剂作为顶层胶，前烘；电子束光刻，对顶层胶进行曝光；对...
涂德钰刘明谢常青刘新华商立伟
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一种交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法
一种交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在基片表面上淀积氮化硅薄膜；2.在氮化硅薄膜表面上旋涂抗蚀剂，光刻得到电极图形；3.利用抗蚀剂掩蔽刻蚀氮化硅薄膜；4.蒸发、剥离金属得到交叉线下电极；5.生长...
涂德钰王从舜刘明
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利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法
一种利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法，其工艺步骤如下：1.在透光基片上淀积一层结构薄膜；2.淀积另外一种材料作为第二层结构薄膜；3.根据线条设计要求重复步骤1和2；4.采用化学机械平坦化或研磨等方法抛光基片表面，得...
涂德钰王丛舜刘明
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种紫外固化纳米压印模版的制备方法
本发明属于微电子学与纳米电子学中的微纳加工领域，特别涉及一种紫外固化纳米压印模版的制备。其工艺步骤如下：1.在透光基片上淀积一层易于刻蚀的薄膜；2.旋涂抗蚀剂；3.淀积一层导电薄膜；4.光刻、显影得到模版图形；5.以抗蚀...
涂德钰王丛舜刘明
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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法
一种采用纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2.制备含有声表面波器件叉指图形和对准标记的压模并对其表面进行防粘连处理；3.将压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外...
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
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阻变存储器的检测电路及检测设备
本发明公开了一种阻变存储器的检测电路及检测设备。检测电路为：设置字线的电压为预定的读取电压并检测阻变存储器中流动的电流值，在合理的选择取样电阻后，通过比较读取电压和取样电阻上的电压，从而读出存储器中的数据。检测设备包括：...
柳江刘明姬濯宇涂德钰刘兴华商立伟刘舸王宏
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种纳米级沟道有机场效应晶体管及其制备方法
本发明属于有机电子技术领域，特别涉及一种纳米级沟道有机场效应晶体管及其制备方法。为了克服现有技术中成本高的缺陷，本发明提供一种纳米级沟道有机场效应晶体管，包括绝缘衬底上的源电极、绝缘层、漏电极、有机半导体层、栅介质层和栅...
商立伟刘明涂德钰刘舸刘兴华
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一种纳米级交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法
本发明属于微电子学与分子电子学中的微细加工领域，特别是一种纳米级交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法。其步骤如下：1.在基片表面上淀积绝缘层薄膜；2.在绝缘层薄膜表面上旋涂电子束抗蚀剂，电子束曝光、显影得到下电极图形；3...
商立伟涂德钰王丛舜刘明
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