王高文
- 作品数：20 被引量：108H指数：8
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程金属学及工艺更多>>
- 一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具
- 一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具属于机械夹具技术领域，目的在于解决现有技术中存在的引入较大变形误差影响光学元件面形测量精度的问题。本发明包括弹性垫层、支承座、固定底座和夹紧挡块；支承座包括上下设置的方形平台和圆形平台...
- 王高文马占龙
- 文献传递
- 基于变换的子孔径拼接新算法被引量：13
- 2013年
- 拼接干涉仪存在机械定位误差,各子孔径间存在相对定位误差,给拼接结果带来影响,需要通过子孔径拼接算法进行补偿。为了提高子孔径拼接算法的补偿能力,提出了有别于基于原始图像计算补偿量的子孔径拼接新算法。将待拼接的图像变换成利于计算补偿量的图像,用变换后的图像进行计算并得到子孔径的相对位置关系,利用得到的相对位置关系将原图像拼好。针对拼接干涉仪机械定位精度较高的情况,设计了一种将原图变换成其梯度的幅值图和方向图,用幅值图作为权重,通过将方向图吻合计算补偿量的新算法。仿真结果表明,该算法相比于用原图计算补偿量的算法,更好地补偿了机械定位误差的影响。以全口径直接测量结果为标准,实验结果进一步验证了这个算法的有效性。说明了根据实际情况选取恰当的变换,基于变换的子孔径拼接算法能提高拼接精度。
- 陈一巍王飞王高文隋永新杨怀江
- 关键词：干涉仪光学检测
- 基于激光三角法的大内径测量系统被引量：11
- 2011年
- 为了实现工业大尺寸内径参数的测量,这里设计了一套基于激光三角法的大尺寸内径精密检测系统;首先,通过TMS320F2812采集激光位移传感器的相对位移;然后,通过Zigbee无线模块实现DSP与PC机之间的数据与控制通讯,同时将极坐标下的位移量转化到直角坐标系下,最后通过最小平方中值法剔除粗大误差,然后用最小二乘法得到内径参数,使其平均误差是常规最小二乘法1/6,并且对激光位移传感器的倾斜误差以及测量臂的偏心误差提出了校正和补偿方案,提高了系统的精度。
- 刘红轩曲兴华邢书剑王高文
- 关键词：激光三角法倾斜校正偏心误差最小二乘法
- 一种内联式多气缸自适应抛光磨头
- 一种内联式多气缸自适应抛光磨头属于光学冷加工技术领域，目的在于解决现有技术存在的磨头应力分布不均及磨头弹性系数不可调节的问题。本发明包括法兰基座、气舱盖板、内联式多气缸结构和抛光磨头子单元；内联式多气缸结构包含多个上端相...
- 王飞马占龙彭利荣王高文隋永新
- 文献传递
- 应用离子束修正高精度CGH基底被引量：2
- 2016年
- 计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。
- 马占龙彭利荣王高文谷勇强
- 关键词：光学制造离子束计算全息图
- 气囊抛光过程的运动精度控制被引量：8
- 2015年
- 针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.30-0.70mm。另外,基于磨头去除量估计与反馈修正法,提高精抛过程面形误差收敛效率。最后,通过磨头探测校准法,将磨头与加工工件法向位置精度提高至10μm。实际抛光实验显示：使用运动精度控制法在280mm口径的平面精密抛光中获得的面形加工精度为0.8nm（RMS）,在160mm口径的凹球面精密抛光中获得的面形加工结果为1.1nm（RMS）,实现了超高精度面形修正的目的,为超高精度球面、非球面光学元件加工提供了一套行之有效的方法。该方法同样适用于其他接触式小磨头数控抛光方法。
- 王飞张健彭利荣王高文隋永新
- 关键词：光学加工气囊抛光
- 用计算全息图校正非球面的畸变被引量：7
- 2013年
- 针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法。该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应。通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正。仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2%。最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测。利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸变校正方法的可靠性。
- 高松涛王高文张健隋永新杨怀江
- 关键词：非球面检测干涉仪计算全息图
- 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法
- 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法属于测量技术领域，检测方法如下步骤：安装装置，条纹判读，检测被测元件是否满足于要求；如果不满足，驱动调节装置，最终调节到干涉条纹为理想条纹且干涉条纹数目合适，程序结束。本...
- 代雷隋永新杨怀江王高文王飞
- 一种自适应抛光磨头
- 本发明公开了一种自适应抛光磨头，包括：法兰基座（1），在法兰基座（1）的下方于其同心装配有磨头基座（2），在磨头基座（2）的下表面分布设置有磨头单元（3），其中，所述磨头单元（3），包括，子基座（31）、子磨头（32）以...
- 王飞马占龙彭利荣王高文隋永新杨怀江
- 文献传递
- 免疫投影基准光强变化的五步移相算法在条纹投影偏折法中的应用被引量：5
- 2013年
- 为了提高条纹投影偏折法对自由曲面的测量精度，通过分析投影到待测面的条纹光强变化形式，推导出一种可以免疫光强变化的五步移相算法，并通过频域傅里叶分析论述了该算法的可行性。数值实验结果表明，免疫光强变化的五步移相算法在基准光强变化1％～5％，杂散光噪声为0．1％～0．5％的情况下，相位计算精度峰值为0．0042λ，均方根值为0．0014λ，在消除离焦影响后，相位计算精度可以达到0．00092。与其他移相算法的对比分析，进一步说明了该算法的优势，免疫光强变化五步移相算法在利用条纹投影偏折法测量自由曲面领域有着较高的应用价值。
- 刘江王飞王高文高松涛杨怀江
- 关键词：光学检测
