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董西亮
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京师范大学核科学与技术学院北京市辐射中心
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
英敏菊
北京师范大学核科学与技术学院射...
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文献类型
2篇
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电子电信
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理学
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离子注入
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晶格
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拉曼
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拉曼光谱
1篇
光谱
1篇
GA
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MEV
1篇
超晶格
1篇
P
1篇
GAAS
机构
2篇
北京师范大学
作者
2篇
董西亮
2篇
英敏菊
传媒
1篇
强激光与粒子...
1篇
北京师范大学...
年份
2篇
2008
共
2
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用拉曼光谱测量离子注入引起的晶格应变
被引量:1
2008年
对于10个周期的A1As/GaAs超晶格和25个周期的GaAs/Ga0.92In0.08As超晶格,在室温下进行0.28MeV的Zn^+注入,注入剂量为5×10^13~5×10^14cm^-2。通过拉曼光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结果表明:在所选用的注入剂量下,由于离子注入引起的应变小于体材料GaAs的最大非驰豫应变值0.038,说明该注入条件下,注入区的结晶态仍然保持得比较好。在较高注入剂量下应变达到饱和,说明缺陷的产生和复合达到了平衡,从而形成了均衡的应变场分布。
英敏菊
董西亮
关键词:
离子注入
GAAS
超晶格
拉曼光谱
0.28 MeV Zn离子注入GaInP/GaInAsP量子阱薄膜材料的损伤行为研究
2008年
对于GaAs衬底(100)面上用金属有机物气相淀积(MOCVD)技术外延生长的GaInP/GaInAsP单量子阱,在室温下进行0.28MeV的Zn^+离子注入,选用的注量从1×10^14~5×10^14cm^-2。通过双晶X射线衍射光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结果表明在所选用的注量下,由于离子注入引起的应变小于体材料GaAs的最大非弛豫应变值0.038,说明在这样的注入条件下,注入区的结晶态仍然保持地比较好。在较高注量下应变达到饱和,应变的饱和说明缺陷的产生和复合达到了平衡,从而形成了均衡的应变场分布。
英敏菊
董西亮
关键词:
离子注入
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