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薛将
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
裴煜
南京航空航天大学
潘风明
南京航空航天大学
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薛将
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1篇
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钽掺杂二氧化钛薄膜的光电性能研究
被引量:2
2013年
采用脉冲激光沉积法(PLD),以石英玻璃为衬底制备了钽掺杂TiO2薄膜并研究了薄膜样品的光电性质.沉积氧气分气压从0.3Pa变化到0.7Pa时薄膜样品的帯隙变化范围是3.26eV到3.49eV.通过测量电阻率随温度的变化关系确定了薄膜内部的主要导电机理.在150K到210K温度范围内,热激发导电机理是主要的导电机理;而在10K到150K范围内;电导率随温度的变化复合Mott的多级变程跳跃模型(VRH);在210K到300K范围内,电阻率和exp(b/T)1/2呈正比关系.
薛将
潘风明
裴煜
关键词:
脉冲激光沉积法
导电机理
脉冲激光沉积法制备钽掺杂二氧化钛薄膜的研究
透明导电氧化物(TCO)薄膜凭借其优良的导电性和可见光透射率在太阳能电池、平面显示器件、反射热镜、透明PN结、气敏传感器以及透明电极等领域有着广范的应用前景。钽掺杂二氧化钛是一种近年来新发现的具有很大潜力的透明导电氧化物...
薛将
关键词:
导电机制
脉冲激光沉积法
二氧化钛薄膜
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