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刘健

作品数:11 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划中国科学院重点实验室基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 10篇欧姆接触
  • 9篇氮化镓
  • 9篇氮化镓器件
  • 9篇接触系统
  • 8篇
  • 7篇合金
  • 7篇合金系
  • 7篇合金系统
  • 7篇
  • 3篇
  • 2篇ALGAN/...
  • 1篇微波性能
  • 1篇SAPPHI...
  • 1篇ALGAN
  • 1篇CONNEC...
  • 1篇GAN
  • 1篇GAN器件
  • 1篇HEMTS
  • 1篇CASCOD...
  • 1篇CASCAD...

机构

  • 11篇中国科学院微...

作者

  • 11篇刘健
  • 11篇刘新宇
  • 11篇和致经
  • 10篇吴德馨
  • 9篇魏珂
  • 2篇邵刚

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 5篇2006
  • 1篇2004
  • 1篇2003
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧姆接触系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au,欧姆接触系统在680℃-76...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件Al/Ti/Al/Pt/Au新型欧姆接触合金系统。提出一种新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Pt/Au。该合金欧姆接触系统在660-760度范围...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
AlGaN/GaN 器件的欧姆接触
GaN器件以其大电流,高击穿电压,良好的微波性能在微波功率领域有着广阔的应用前景.欧姆接触对功率器件的性能影响很大,因此宽禁代半导体材料上的欧姆接触被广泛研究.本文探讨采用Ti/Al/Ti/Au合金体系在不同条件下在Al...
邵刚刘健刘新宇和致经
关键词:GAN欧姆接触GAN器件微波性能ALGAN
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧姆接触系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au,欧姆接触系统在680℃-76...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au,具有很大的工艺宽容度,可以在较低680℃-7...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/金欧姆接触系统
本发明涉及AlGaN/GaN HEMT器件的欧姆接触技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Au的合金系统。欧姆接触金属蒸发时采用五层结构的AlTiAlTiAu结构...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件Al/Ti/Al/Pt/Au新型欧姆接触合金系统。提出一种新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Pt/Au。该合金欧姆接触系统在660—760度范围...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
Cascode Connected AlGaN/GaN Microwave HEMTs on Sapphire Substrates
2004年
Fabrication and characteristics of cascade connected AlGaN/GaN HEMTs grown on sapphire substrates are reported.The circuit employs a common source device,which has a gate length of 0.8μm cascode connected to a 1μm common gate device.The second gate bias will not only remarkably affect saturated current and transconductance,but also realize power gain control.Cascode device exhibits a slight lower of f T,a less feedback,a largely greater of maximum available gain and a higher impedance compare to that of common source device.
邵刚刘新宇和致经刘健吴德馨
关键词:CASCADEALGAN/GANHEMTSSAPPHIRE
适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au,具有很大的工艺宽容度,可以在较低780℃的情况,...
魏珂和致经刘健刘新宇吴德馨
文献传递
适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统
本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au,具有很大的工艺宽容度,可以在较低680℃-7...
魏珂和致经刘新宇刘健吴德馨
文献传递
共2页<12>
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