刘苏平
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种新型砷化镓抛光工艺的研究
- 1989年
- 在半导体制造工艺中,首先要获得一个平滑、光亮、无损伤层的表面.半导体晶片的抛光,国际上主要采用化学机械混合同时抛光.该种方法抛光的晶片,表面平整度、光洁度好,机械损伤小.据报道,目前用于砷化镓材料的抛光液配方已有一些,但都不理想.例:2Br-98CH_3OH抛光液,该抛光液存在抛光质量不稳定,有老化现象,毒性大;
- 刘苏平张国琦高鸿楷张济康
- 关键词：砷化镓抛光晶片
- 全文增补中
- 一种电热器皿装置
- 一种电热器皿装置，是采用电热膜无明火加热方法制作的，其主要由器皿、电热膜、绝缘层、保温层及外壳构成，其特点在于热效率高、结构简单、成本低、使用寿命长、加热均匀、且安全。
- 张国琦何思秦张工力刘苏平
- 文献传递
- 一种输油伴热管
- 本实用新型公开了一种输油伴热管,其是在输油管外套有套管,输油管两端有连接法兰,在输油管外壁涂有绝缘层和电热膜加热层,在套管与输油管之间的空腔填充有绝缘保温材料,空腔的两端设有密封堵头,在电热膜上接有电极与管外的控制柜连接...
- 刘苏平
- 文献传递
- 耐高温复合绝缘涂料
- 一种耐高温复合绝缘涂料，是由耐高温树脂、耐高温固体填料和树脂改性材料组成，可采用喷、刷、浸的方式涂覆在金属制品的表面、经烧结形成耐高温绝缘层，可解决电加热和电热膜等在金属制品上的耐高温绝缘问题。
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