叶亚仙
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制
- 1990年
- 本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm^2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真空机组,反应室可抽至10^(-5)乇。反应室为高频加热,控温精度±0.2℃,有机源冷井控温精度±0.1℃,设有压力,H_2、AsH_3、PH_3报警及自动处置系统,有断水,断电保护,全部控制量均为数字显示,温度及全部流量的设置与调整均实现微机自动控制,配有GaAs,AlGaAs单层及多层结构生长工艺的专用软件,实现完全自动化生长。该装置性能稳定,重复性好,安全可靠,对操作者及环境无危害,设有手动及自动转换开关,适合于科研和生产使用。
- 高鸿楷张济康叶亚仙李秀如云峰刘瑛张增颜侯洵
- 关键词：微机MOCVD装置半导体设备
- BD—1高精度Bragg衍射仪微机控制系统研制
- 1989年
- 本文阐述了我国首次研制的BD—1高精度Bragg衍射仪中的微机控制系统。本系统采用Apple—Ⅱ微机、新型驱动细分控制器对步进电机实现步距角二细分控制,使衍射仪内单轴转台的θ角实现小步距转角(5.4″)高精度、高稳定的控制;该微机系统还实现了对工作台随动升降控制;晶体转角微调控制;高分辨数据采集及处理;限位报警等功能,且具有较强的抗干扰能力。
- 叶亚仙
- 关键词：微机控制系统
