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庄志伟

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇压阻
  • 2篇生化传感器
  • 2篇探测器
  • 2篇热性能
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械结构
  • 2篇位置敏感探测...
  • 2篇绝热性能
  • 2篇机械结构
  • 2篇检测器件
  • 1篇蛋白
  • 1篇蛋白检测
  • 1篇蛋白质
  • 1篇阵列
  • 1篇白质

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇庄志伟
  • 3篇刘理天
  • 3篇王喆垚
  • 2篇周有铮

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2006
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材...
王喆垚周有铮庄志伟刘理天
文献传递
蛋白检测压阻传感器阵列的优化设计与测量平台
庄志伟
关键词：悬臂梁传感器阵列蛋白质
表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化被引量：1
2006年
研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.
庄志伟王喆垚刘理天
关键词：MEMS压阻SOI悬臂梁传感器
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材...
王喆垚周有铮庄志伟刘理天
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