张艳红
- 作品数：13 被引量：32H指数：3
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：浙江省重点科技计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程交通运输工程经济管理更多>>
- 一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作被引量：7
- 2006年
- 设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度.体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度.该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容.初步的测试结果表明器件具有良好的性能.
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻效应应力分布
- 新型硅基MOS力敏传感器的设计与制作
- 2008年
- 随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点。压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选。研究表明,在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器。该器件在与传统的压阻式力敏传感器相比,一方面继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,另一方面大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
- 张艳红刘理天张兆华林惠旺
- 关键词：MOS晶体管灵敏度功耗
- TPMS的研究和设计
- 简述了TPMS的基本原理、发展现状和趋势。介绍了设计的一种应用于汽车电子领域的胎压传感器,该器件把压力传感器和温度传感器集成在一起,具有结构简单,系统温漂小和功耗低等特点。
- 张艳红张兆华刘理天
- 关键词：TPMS压力传感器温度传感器
- 文献传递
- 新型MOS晶体管式压力传感器被引量：3
- 2007年
- 在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的MOS晶体管式压力传感器。该器件在与目前最常用的压阻式压力传感器相比,继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
- 张艳红刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：MOS晶体管灵敏度功耗
- 汽车胎压监控系统研究与设计
- 轮胎压力监视系统 TPMS是一种重要的汽车安全用电子信息系统，它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测，在轮胎气压值过低或者过高以及轮胎温度过高时进行报警，提示驾驶人员及早采取必要的措施，以保障行车安全。本文...
- 任天令张兆华张艳红林惠旺刘理天
- 关键词：汽车电子传感器单片机
- 文献传递
- 新型MOS晶体管式压力传感器
- 在应力作用下,MOS 晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化。基于 MOS 晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的 MOS 晶体管式压力传感器。该器件在与目前最常用的压阻式压力...
- 张艳红刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：灵敏度功耗
- 文献传递
- TPMS的研究和设计被引量：19
- 2005年
- 简述了TPMS的基本原理、发展现状和趋势。介绍了设计的一种应用于汽车电子领域的胎压传感器,该器件把压力传感器和温度传感器集成在一起,具有结构简单,系统温漂小和功耗低等特点。
- 张艳红张兆华刘理天
- 关键词：TPMS压力传感器温度传感器
- TPMS硅基压阻式压力传感器的研制
- 轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,本文针对在30 μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏...
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻式压力传感器灵敏度线性度TPMS硅基
- 文献传递
- 硅基TPMS集成传感器研究被引量：3
- 2006年
- 本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.
- 张兆华刘兵武张艳红谭智敏林惠旺刘理天
- TPMS硅基压阻式压力传感器的研制被引量：5
- 2006年
- 轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,针对在30μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏电阻,设计并制作了一系列压阻式压力传感器.分析和讨论了膜的面积、电阻形状和位置等参数对压力传感器的灵敏度和线性度的影响.测试得到1000kPa量程下边长为370μm的压力传感器灵敏度和线性度分别为15.5mV/V·FS、0.012%/FS;边长为470μm的传感器的灵敏度和线性度分别为32.2mV/V·FS、0.078%/FS,满足TPMS应用标准.这种器件体积小、成品率高,灵敏度和线性度均得到提高,也可用于医学、航空等其他领域.
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻式压力传感器灵敏度线性度TPMS
