徐建立
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：辽宁工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>
- 液体对圆筒形压电振子振动的影响
- 流体振动抛光是利用振子超声振动所提供的能量,使圆筒内液体分子以及其中的微小颗粒在振动的驱使下冲击工件表面,从而达到去除材料提高工件表面质量的目的.文章针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子,利用ANSYS有...
- 徐建立刘政何勍
- 关键词：抛光设备有限元分析
- 文献传递
- 圆筒形压电振子及其流体转速特性实验研究
- 2014年
- 针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子。振子能够实现6阶和10阶两种面内弯曲工作模态,谐振频率分别为38400Hz、93200Hz。通过合适的激励,能够形成圆筒振子内表面质点的行波运动。实验研究了圆筒芯的直径、液面高度以及激励电压对液体转速的影响。研究结果表明,液体转速随着圆筒芯直径的增大而升高。在同样实验工况下,激励电压越高,液体转速越大。振子工作于10阶模态时的液体转速明显高于6阶模态时的转速。
- 何勍徐建立
- 关键词：超声振动转速
- 液体对圆筒形压电振子振动的影响被引量：1
- 2013年
- 针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子,利用ANSYS有限元软件确定了振子的结构尺寸、工作模态和固有频率。该振子外径为62mm,高度为15mm,能够实现B0,6和B0,10两种面内弯曲工作模态,实验测得振子在B0,6和B0,10工作模态下的固有频率分别为38.4kHz和93.2kHz。针对流体振动抛光方法,实验着重研究了液体对振子振动的影响,分析了液体的液面高度、抛光液的浓度等因素对振子谐振频率和振幅的影响。
- 徐建立刘政何勍
- 关键词：超声振动行波抛光液
- 应用圆筒形行波压电振子的流体抛光实验研究
- 2014年
- 应用圆筒形行波压电振子设计了流体振动抛光装置。选取压电振子第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态,利用化学机械抛光浆料作为抛光液体,对不同表面形貌的硅片进行了抛光实验。实验结果表明硅片表面粗糙度得到改善。该方法也说明流体振动抛光更加适用于对已经具有较高表面平整度的抛光片进行二次抛光。
- 何勍徐建立
- 关键词：流体硅片化学机械抛光
- 流体在圆筒内的超声驱动原理及抛光应用研究
- 本文以化学机械抛光技术和超声技术为背景，在国家自然科学基金项目（项目编号51075195）的资助下，针对流体振动抛光方法，研究流体在圆筒内的超声驱动及硅片抛光实验。流体振动抛光是利用振子超声振动所提供的能量，使圆筒内液体...
- 徐建立
- 关键词：超声振动流体抛光
- 文献传递
