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徐鹤

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:兰州大学核科学与技术学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电荷态
  • 1篇晶面
  • 1篇溅射
  • 1篇沟道
  • 1篇沟道效应
  • 1篇高电荷态
  • 1篇高电荷态离子
  • 1篇SI

机构

  • 1篇兰州大学
  • 1篇中国科学院近...

作者

  • 1篇韩运成
  • 1篇徐鹤
  • 1篇丁大杰
  • 1篇彭海波
  • 1篇程锐
  • 1篇赵永涛
  • 1篇王瑜玉
  • 1篇王铁山

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
高电荷态离子与Si(110)晶面碰撞的沟道效应研究
2008年
不同电荷态低速离子(Arq+,Pbq+)轰击Si(110)晶面,测量不同入射角情况下的次级粒子的产额.通过比较溅射产额与入射角的关系,证实沟道效应的存在.高电荷态离子与Si相互作用产生的沟道效应说明溅射产额主要是由动能碰撞引起的.在小角入射条件下,高电荷态离子能够增大溅射产额.当高电荷态离子以40°—50°入射时,存在势能越高溅射产额越大的势能效应.
彭海波王铁山韩运成丁大杰徐鹤程锐赵永涛王瑜玉
关键词:高电荷态离子溅射沟道效应
共1页<1>
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