曲晏宏
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：牡丹江师范学院更多>>
- 发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：理学化学工程更多>>
- 间歇生长模式高甲烷浓度制备纳米金刚石膜被引量：2
- 2010年
- 采用直流热阴极PCVD技术,经过生长温度的周期性调整,达到清除多余游离碳和刻蚀非金刚石相的目的,实现了在高甲烷浓度条件下制备纳米金刚石膜。金刚石膜的生长过程分为沉积阶段和刻蚀去除阶段,沉积时间为15min,刻蚀时间为5min,生长周期为20min,总的沉积时间为6h。采用拉曼光谱仪、SEM和XRD分析仪对样品进行了分析,结果显示样品具有纳米金刚石膜的基本特征。研究表明,在高甲烷浓度条件下,直流热阴极PCVD间歇生长模式可有效去除生长腔内的游离碳成分,实现正常放电激励,维持正常生长,制备出纳米金刚石膜。
- 姜宏伟彭鸿雁陈玉强祁文涛王军曲晏宏
