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李续忠

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇真空系统
  • 2篇扫描电镜

机构

  • 2篇沈阳工业大学

作者

  • 2篇李续忠
  • 2篇贾向群
  • 1篇刘明林
  • 1篇刘明林

传媒

  • 1篇电子显微学报
  • 1篇第六次全国电...

年份

  • 2篇1990
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
JSM-840扫描电镜真空系统故障分析及检测
＜正＞ JSM-840扫描电镜的真空系统是由三个“皮拉尼计”来检测的。PG1与样品室相连。PG2与电子光路系统相连。PG3与扩散泵DP和储气室相连。“皮拉尼计”与各种电子线路、断电器、控制阀等配合构成一整套自动保护系统。...
刘明林贾向群李续忠
文献传递
JSM-840扫描电镜真空系统故障分析及检测
1990年
JSM-840扫描电镜的真空系统是由三个“皮拉尼计”来检测的。PG1与样品室相连。PG2与电子光路系统相连。PG3与扩散泵DP和储气室相连。“皮拉尼计”与各种电子线路、断电器、控制阀等配合构成一整套自动保护系统。扩散泵工作不正常或在此处有泄漏,则PG3故障灯亮报警,严重时停机。系统其它部位真空不良,由于PG1、PG2的控制也会自动停机。故障停机主要有以下几种情况。(1)初抽三十分钟V6阀不能关闭。(2)开机二十分钟扩散泵未能加热。(3)断水。(4)DP和储气室之间真空低下,用μA表测量量PG3的检测端子高于120μA,PG3故障指示灯亮15分钟后停机。(5)压缩氮气供压不足。
刘明林贾向群李续忠
关键词：扫描电镜真空系统
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