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梅秋丽

作品数：14 被引量：3H指数：1
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 14篇紫外光刻
  • 14篇光刻
  • 12篇极紫外
  • 12篇极紫外光刻
  • 10篇光阑
  • 7篇照明
  • 7篇照明系统
  • 7篇曲面
  • 7篇复眼
  • 4篇设计方法
  • 4篇投影物镜
  • 4篇自由曲面
  • 4篇物镜
  • 3篇利用率
  • 3篇二次曲面
  • 3篇波纹板
  • 2篇中继
  • 2篇像素
  • 2篇光能
  • 2篇光能利用

机构

  • 14篇北京理工大学

作者

  • 14篇梅秋丽
  • 14篇李艳秋
  • 7篇刘菲

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统
本发明提供一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统，该系统包括视场复眼、光阑复眼及二次曲面反射镜；其中，视场复眼由若干个抛物面反射镜构成，入射光束在每一抛物面反射镜上发生掠入射，并以平行光束出射至光阑复眼上；光阑复...
李艳秋梅秋丽
文献传递
高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统设计被引量：3
2015年
针对极紫外光刻照明系统光能利用率低的问题,设计了一套高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统。该系统中波纹板面形采用柱面镜阵列,降低了加工难度;并且根据波纹板反射光线的特性,确定了由修正型复合抛物面聚光镜与二次曲面反射镜组作为中继镜组的结构。整个系统仅采用四片反射镜且其中两片反射镜为掠入射,与传统的极紫外光刻照明系统相比,有效地提高了系统的光能利用率。对一套数值孔径0.33的极紫外光刻投影物镜,给出了与之相匹配的波纹板照明系统设计实例。仿真结果表明,系统的光能利用率可达39.7%,掩模上弧形照明区域扫描方向的积分不均匀度小于2.7%,验证了该设计的可行性和有效性。
梁欣丽李艳秋梅秋丽
关键词：光学设计极紫外光刻
一种极紫外光刻波纹板照明系统
本发明提供一种极紫外光刻波纹板照明系统，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的...
李艳秋梁欣丽梅秋丽
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极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法
本发明提供一种极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法，该方法适用的照明系统包括光源、聚光镜、视场复眼、光阑复眼以及中继镜组；该方法的具体步骤为：在极紫外光刻机更换投影物镜前：利用光线追迹，计算中继镜A的出射光...
李艳秋梅秋丽刘菲
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极紫外光刻复眼匀光离轴照明系统及实现离轴照明的方法
本发明提供一种EUVL复眼匀光离轴照明系统，包括等离子体光源、二次曲面反光碗、双排复眼以及中继镜组；其中所述双排复眼由视场复眼和光阑复眼组成，所述中继镜组由凸二次曲面反光镜和凹二次曲面反光镜组成；视场复眼由N个弧形复眼元...
李艳秋梅秋丽刘菲
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一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法
本发明提供一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法，具体步骤为：跟据指定的投影物镜的参数确定照明系统出瞳距离；确定坐标系，获取各器件的坐标；根据所述出瞳距离和掩膜面中心坐标，确定出瞳中心的坐标；令出瞳中心与掠入射镜非邻近焦点...
李艳秋梅秋丽刘菲
一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统
本发明提供一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统，该系统包括视场复眼、光阑复眼及二次曲面反射镜；其中，视场复眼由若干个抛物面反射镜构成，入射光束在每一抛物面反射镜上发生掠入射，并以平行光束出射至光阑复眼上；光阑复...
李艳秋梅秋丽
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一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法
本发明提供一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，具体过程为：获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离；设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面上弧形区域的位置重合...
李艳秋梅秋丽刘菲
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一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统
本发明提供一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视...
李艳秋梅秋丽
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一种极紫外光刻波纹板照明系统
本发明提供一种极紫外光刻波纹板照明系统，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的...
李艳秋梁欣丽梅秋丽
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