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王伟忠

作品数：19 被引量：5H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 9篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 8篇电阻
  • 6篇压敏电阻
  • 6篇芯片
  • 6篇键合
  • 6篇传感器芯片
  • 5篇探针
  • 5篇力传感器
  • 4篇微力传感器
  • 4篇微压
  • 4篇硅基
  • 4篇硅基底
  • 4篇高过载
  • 3篇压阻
  • 3篇三维微力传感...
  • 3篇力测量
  • 3篇硅
  • 2篇电控

机构

  • 19篇西安交通大学
  • 1篇西安石油大学

作者

  • 19篇王伟忠
  • 18篇赵玉龙
  • 6篇蒋庄德
  • 6篇林启敬
  • 4篇孟夏薇
  • 4篇于忠亮
  • 4篇田边
  • 4篇刘岩
  • 3篇唐秀萍
  • 2篇秦亚飞
  • 2篇李建波
  • 2篇牛喆
  • 2篇徐宜
  • 2篇张学锋
  • 1篇王鑫垚
  • 1篇方续东

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 7篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 3篇2009
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于探针形式的三维硅微力传感器被引量：1
2009年
为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式,在4mm×4mm的硅基半导体芯片上用MEMS体硅工艺集成而成。通过ANSYS数值仿真的方法分析了三维硅微力传感器结构的应力特点,解决了三维微力之间的相互干扰问题,并对传感器性能进行了测试。结果表明,其X、Z方向的线性灵敏度分别为0.1682、0.0106mV/μN,最大非线性度分别为0.19%FS和1.1%FS。该传感器具有高灵敏度、高可靠性、小体积、低成本等特点。
林启敬赵玉龙蒋庄德王鑫垚王伟忠
关键词：微机电系统微力传感器探针三维力压阻
一种三维微力测量装置
一种三维微力测量装置，包括一减震平台3，减震平台3上固定有电控三维位移平台1与载物台2，并将压电陶瓷位移平台4固定在电控三维位移平台1的Z轴上，硅微三维微力传感器6固定在压电陶瓷平台4上，硅微三维微力传感器6的惠斯通电桥...
赵玉龙王伟忠林启敬蒋庄德
一种能够测量亚微牛顿力的三维微力传感器及其封装方法
一种能够测量亚微牛顿力的三维微力传感器及其封装方法，传感器包括配置在敏感芯片上的接触探针，敏感芯片的背面设置有玻璃基底，敏感芯片采用四个L型悬臂梁交叉支撑中心支撑膜，在悬臂梁上设置有12个压敏电阻，12个压敏电阻组成3组...
赵玉龙王伟忠秦亚飞
文献传递
一种梁膜单岛结构微压高过载传感器芯片
一种梁膜单岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底的中部加工有一质量块和四根单梁，将硅基底、质量块及四根单梁围成的区间加工成10～30μm厚的薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合，将质量块的背面减薄使质量...
赵玉龙于忠亮孟夏薇田边王伟忠
文献传递
一种梁膜双岛结构微压高过载传感器芯片
一种梁膜双岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底上加工有两个质量块和三根单梁，质量块与硅基底、两个质量块之间均通过单梁连接，将硅基底、质量块及三根单梁围成的空间加工成薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合...
赵玉龙于忠亮孟夏薇刘岩张学锋王伟忠
文献传递
一种SOI矩形膜结构高压传感器芯片
一种SOI矩形膜结构高压传感器芯片，包括高压传感器芯片，高压传感器芯片底面的中心区域腐蚀形成矩形膜，在高压传感器芯片的正面，沿着[110]晶向上，在矩形膜上的应力最大处布置有四个电阻条，在矩形膜外围和高压传感器芯片边缘之...
赵玉龙牛喆田边王伟忠
用于三维微力测量的石英光纤微探针
用于三维微力测量的石英光纤微探针，由探针底座、探杆和探头组成，探针底座由有机玻璃制成，探针底座为一带盲孔的圆柱体，探杆为一底端大、由底端往上依次变小的圆柱形阶梯式石英光纤结构，探杆底端与探针底座盲孔成紧密配合；探杆的顶端...
赵玉龙王伟忠蒋庄德
文献传递
基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试
力传感器作为测试仪器及机械力操作系统的主要元件广泛应用于军事与工业领域。随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展，越来越多的学者与科研机构开始对微观世界进行深入研究，传统的力传感器己不能满足在MEMS系统中微尺度结构力学...
王伟忠赵玉龙林启敬
关键词：压阻效应力传感器微机电系统
文献传递
MEMS集成化三维微力传感器研究
王伟忠
关键词：MEMS传感器探针压阻效应
一种三维微力测量装置
一种三维微力测量装置，包括一减震平台3，减震平台3上固定有电控三维位移平台1与载物台2，并将压电陶瓷位移平台4固定在电控三维位移平台1的Z轴上，硅微三维微力传感器6固定在压电陶瓷平台4上，硅微三维微力传感器6的惠斯通电桥...
赵玉龙王伟忠林启敬蒋庄德
文献传递
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