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胡桂珍
作品数:
1
被引量:23
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学汽车工程学院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
王冬生
哈尔滨工业大学汽车工程学院
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哈尔滨工业大...
作者
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胡桂珍
1篇
王冬生
传媒
1篇
机械设计与制...
年份
1篇
2006
共
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MEMS技术概述
被引量:23
2006年
这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。
王冬生
王春明
胡桂珍
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