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胡桂珍

作品数：1 被引量：23H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学汽车工程学院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇胡桂珍
  • 1篇王冬生

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS技术概述被引量：23
2006年
这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。
王冬生王春明胡桂珍
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共1页<1>
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