邵秀婷
- 作品数：10 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器
- 2013年
- 为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2．5mm金属薄层构成。谐振器采用铝／金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模（COM）理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果，实验研制了基于300MHz频率的新型铝／金电极SAW两端对谐振器，测试结果显示所研制器件具有较低损耗（〈7dB），较高Q值（-3000）以及单一谐振模式的特点，并且，以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度（t15Hz／h），这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。
- 王文谢晓邵秀婷刘明华何世堂
- 关键词：声表面波谐振器气体传感器金电极单模式频率稳定度铝
- 基于反射型延迟线结构的无线无源声表面波测温系统被引量：3
- 2014年
- 从传感器核心元件及无线测温雷达的优化设计出发,研制了一种集成电子标签的高性能声表面波(SAW)无线无源测温系统。基于耦合模(COM)理论对作为传感元件的反射型SAW延迟线进行了优化设计,基于仿真结果,实验研制了采用YZ LiNbO_3石英基片的434 MHz反射型SAW延迟线,该器件是由一个换能器与8个反射器构成的反射型延迟线,其中3个反射器用于温度检测,另外5个反射器则用于采用相位编码的电子标签。测试结果显示所研制的反射型SAW延迟线具有良好的时域特性与较高的信噪比,并与理论仿真结果极为吻合。设计并研制了采用步进调频(FSCW)模式的测温雷达,利用高精度高低温箱对所研制的无线无源SAW测温系统进行了无线测试,系统表现出良好的线性特性,测温准确度达到了士1℃以内。
- 王文薛蓄峰邵秀婷王建明梁勇
- 关键词：反射型测温系统声表面波耦合模理论无线测温
- 一种结合金属点阵的新型行波模式声表面波陀螺仪
- 由于哥氏力的作用非常微弱，现有的声表面波(SAW)陀螺仪的检测灵敏度极低.本文研制了一种结合金属点阵的新型行波模式声表面波陀螺仪，并对其性能进行了实验验证，得到了较高的检测灵敏度.该结构由一对平行且反向设置的延迟线振荡器...
- 邵秀婷王文何世堂
- 关键词：陀螺效应
- 金属点阵对行波模式声表面波陀螺仪检测灵敏度的影响
- 高声表面波陀螺仪的检测灵敏度,本文实验研制了一种操作频率为95MHz的结合金属点阵的行波模式声表面波陀螺仪.该结构由压电基片上一对平行且反向设置的声表面波延迟线振荡器以及分布于声波传输路径上的金属点阵构成.基片材料为12...
- 邵秀婷王文何世堂
- 新型行波模式声表面波陀螺仪研究
- 由于哥氏力的作用效果比较微弱,现有的行波模式声表面波(SAW)陀螺仪的检测灵敏度极低.为提高其检测灵敏度,本文提出了一种新型行波模式SAW陀螺仪结构,研制了操作频率为95MHz的结合金属点阵的行波模式声表面波陀螺仪.该结...
- 邵秀婷王文何世堂
- 关键词：参数优化
- 文献传递
- 一种基于行波模式的声表面波陀螺仪
- 本发明涉及一种基于行波模式的SAW陀螺仪，所述的SAW陀螺仪（3）包括一块压电基片（32）、置于压电基片（32）表面的第一延迟线（31）和第二延迟线（33）、以及分布于第一延迟线（31）和第二延迟线（33）两端的吸声胶（...
- 王文邵秀婷何世堂
- 文献传递
- 一种基于行波模式的声表面波陀螺仪
- 本发明涉及一种基于行波模式的SAW陀螺仪，所述的SAW陀螺仪（3）包括一块压电基片（32）、置于压电基片（32）表面的第一延迟线（31）和第二延迟线（33）、以及分布于第一延迟线（31）和第二延迟线（33）两端的吸声胶（...
- 王文邵秀婷何世堂
- 文献传递
- 结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上声表面波陀螺效应分析
- 在声表面波陀螺效应作用过程中,由于哥氏力的作用比较微弱,导致现有的声表面波陀螺仪的检测灵敏度极低.为了改善哥氏力作用,在声表面波传播路径上分布金属点阵以增加质量负载,将有可能获得良好的灵敏度性能.本文结合研究层状介质中声...
- 邵秀婷王文
- 关键词：陀螺效应
- 文献传递
- 结合金属膜的YZ-LiNbO_3压电基片上声表面波陀螺效应分析被引量：1
- 2013年
- 在声表面波陀螺效应作用过程中,由于哥氏力的作用比较微弱,导致现有的声表面波陀螺仪的检测灵敏度极低。为了改善哥氏力作用,在声表面波传播路径上分布金属点阵以增加质量负载,将有可能获得良好的灵敏度性能。本文结合研究层状介质中声波传输特性的方法对YZ-LiNbO3压电基片上的金属膜层对陀螺效应的影响做了理论计算。对比分析有无金属膜层的压电基片中陀螺效应的大小,以及不同金属材料对陀螺效应的影响作用,验证了用布置重金属点阵的方法来提高行波模式声表面波陀螺仪检测灵敏度的可行性,从而为高性能行波模式声表面波陀螺仪的研制奠定理论基础。
- 邵秀婷王文
- 关键词：陀螺效应
- 压电基片与金属点阵厚度对行波模式声表面波陀螺仪检测灵敏度的影响被引量：2
- 2015年
- 过低的灵敏度性能一直是声表面波(SAW)陀螺仪的瓶颈问题,对此,提出了一种结合金属点阵用以改善陀螺效应的新型行波模式SAW陀螺仪,并对其性能进行了评价。该结构由双延迟线型振荡器构成,两延迟线平行且反向制作于同一压电基片上,在延迟线的声传播路径上分布铜点阵。结合层状介质中声波传输特性的研究方法分析了两种压电晶体材料、不同金属点阵膜厚对传感器响应的影响,从而为确定陀螺仪的设计奠定理论基础。基于理论计算结果,研制了以128°YX LiNbO3及X-112°Y LiTaO_3为压电基片,铜点阵厚度分别为3000 A,6000 A,9000 A的95 MHz声表面波陀螺仪。为改善振荡器的频率稳定性,延迟线采用了具有梳状结构的单相单向换能器结构。振荡器的测试频率稳定度达到了±5 Hz/h。利用精确速率转台对所研制的SAW陀螺仪性能进行了测试。测试结果表明:采用机电耦合系数较高的128°YX LiNbO_3基片并增加金属点阵厚度均能有效提高陀螺仪的检测灵敏度,所获得的最大检测灵敏度为2.7 Hz/(deg/s)。
- 邵秀婷王文刘鑫璐梁勇何世堂
- 关键词：声表面波机电耦合系数频率稳定性层状介质行波
