郁炜
- 作品数：112 被引量：66H指数：5
- 供职机构：衢州学院更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金国家级大学生创新创业训练计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺文化科学机械工程更多>>
- CMP加工过程中加工载荷对液膜厚度的影响分析
- 2009年
- 本文采用激光诱导荧光技术(LIF)来研究抛光参数对化学机械抛光加工区液膜厚度的影响。研究表明,抛光液膜厚度随着抛光载荷的增加而减少,减小的趋势随抛光载荷的提高而减缓。同时液膜厚度随着抛光速度的增加而变大。通过抛光参数的变化对抛光液液膜厚度影响的分析,为改善CMP加工工艺提供理论性的依据。
- 郁炜吕迅楼飞燕
- 关键词：化学机械抛光液膜厚度激光诱导荧光
- 双自转研磨沟槽结构参数对球体研磨均匀性的影响分析被引量：2
- 2013年
- 基于多体动力学分析软件ADAMS建立了双自转研磨方式下的球体运动数值仿真模型,给出了研磨轨迹点分布均匀性(研磨均匀性)的评价方法,仿真分析了研磨盘沟槽半径和沟槽角度对研磨均匀性的影响,并通过试验验证了仿真结果的正确性。
- 郁炜吕冰海李兴林袁巨龙姚蔚峰
- 关键词：滚动轴承研磨ADAMS
- 智能服药辅助机器人和控制方法
- 本发明涉及辅助服药设备领域，公开了一种智能服药辅助机器人和控制方法，其中，所述智能服药辅助机器人包括药物存放装置、药物拣取装置、出药盒、控制器以及语音模块；以所述药物存放装置为虚拟旋转轴心，所述药物存放装置和所述出药盒设...
- 项林佳杨扬任宇宁郑嘉颖张峰峰郁炜张亚龙
- 文献传递
- 基于PLC的恒温恒压集中供热控制系统设计
- 2013年
- 针对某高校学生公寓集中供热控制系统,设计了基于PLC的恒温恒压供热控制系统,并介绍了系统的组成、系统的功能、系统的软件设计及节能效果与系统稳定分析。该控制系统性能稳定可靠,取得了很好的恒压供热效果,节能效果显著。
- 陈杰郁炜
- 关键词：变频调速PLC节能
- 基于田口方法的GaAs基片化学机械抛光加工工艺研究被引量：2
- 2009年
- 为获得超平滑的GaAs基片表面,以H2O2、CeO2和NH4OH溶液为抛光液,采用化学机械抛光方法对GaAs基片进行了超精密加工。采用田口方法对氧化剂H2O2含量、碱性溶液NH4OH含量、加工载荷、抛光盘转速4个重要影响因素进行了优化设计,得到以表面粗糙度和材料去除率为评价条件的综合最优抛光参数。结果表明,当H2O2质量分数为30%,NH4OH质量分数为0.08%,加工载荷为18kPa,抛光盘转速为30r/min时,可以获得表面粗糙度和材料去除率综合最优的GaAs基片抛光效率。
- 吕迅郁炜
- 关键词：砷化镓化学机械抛光田口方法
- 双自转研磨方式下研磨均匀性的影响因素研究
- 精密球体的精度是圆度仪、陀螺、精密轴承、滚珠丝杠、滚珠导轨和精密测量仪器等结构功能的重要保证。本研究中心提出的双自转研磨方式适用于高精密球体的研磨，其下研磨内外盘转速的组合可主动控制球体自转角，实现研磨轨迹全包络，保证研...
- 郁炜
- 关键词：精密轴承
- 文献传递
- 一种具有蜂窝状贝纳特花纹效果的抛光薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种具有蜂窝状贝纳特花纹效果的抛光薄膜及其制备方法。制备过程包括如下步骤：1)将有机硅树脂与有机硅橡胶混合，再加入硅烷偶联剂，防静电剂，聚有机硅氧烷制备树脂混合液；2)将硅溶胶IPA‑ST和MA‑ST‑M混合得...
- 冯凯萍朱跃恋周兆忠石宝民郁炜尹涛倪成员许庆华
- 文献传递
- 一种采用湿混法的纳米金刚石磨具丸片制备方法
- 本发明涉及一种树脂磨具的制备方法，具体涉及一种采用湿混法的纳米金刚石磨具丸片制备方法，属于精密研磨抛光领域。以纳米金刚石粉为磨料，以树脂作结合剂，以可挥发液体作为分散介质，经压制成型及固化处理使其成为具有一定形状的研磨及...
- 冯凯萍郑兴龙周兆忠倪成员郁炜尹涛许庆华
- 文献传递
- 一种高固含量纳米球状二氧化硅抛光薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种高固含量纳米球形二氧化硅复合材料树脂抛光薄膜及其制备方法。制备过程包括如下步骤：1)正硅酸四乙酯水解，干燥得到纳米二氧化硅粉体，将纳米二氧化硅进行表面改性，得到改性后的无机粉体；2)树脂基体、稀释剂和光引发...
- 周兆忠石宝民冯凯萍朱跃恋郁炜尹涛倪成员许庆华
- 基于PLC的恒温恒压集中供热控制系统的WinCC组态设计被引量：2
- 2013年
- 恒温恒压集中供热系统采用S7-300PLC为核心控制,为使系统功能控制程度更高、可操作性更好以及安全性更高,采用WinCC监控系统对本系统进行组态。本文描述了西门子WinCC组态软件在恒温恒压供热系统中的应用,并阐述了相关的系统功能。经过实践证明,WinCC监控在供热中的应用效果良好。
- 何家建郁炜
- 关键词：组态软件人机界面
