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陈国栋
作品数:
2
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供职机构:
电子工业部
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相关领域:
电子电信
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合作作者
高嵩
辽宁大学信息学院电子信息科学与...
黄和鸾
辽宁大学信息学院电子信息科学与...
李威
电子工业部
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电子工业部
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作者
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陈国栋
1篇
李威
1篇
黄和鸾
1篇
高嵩
传媒
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年份
1篇
1993
1篇
1991
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化学汽相淀积多晶硅薄膜生长的动力学描述
1991年
本文对化学汽相淀积生长多晶硅的过程作了定性描述,经过若干简化后,提出了多晶硅成核模型,根据“液滴”模型进行了晶体生长动力学的分析,此结果在低温成核,高温生长情况下成立。本文未涉及掺杂多晶硅膜的生长问题,它将在另文中讨论。
陈国栋
关键词:
化学汽相淀积
多晶硅
动力学
Si/Si_(1-x)Ge_x 异质结双极晶体管的研究概述
1993年
本文介绍了 Si_(1-x)Ge_x 基区异质结双极晶体管(HBT)的特点;Si_(1-x)Ge_x 合金层的生长方法;两种 Si_(1-x)Ge_x 基区 npn 器件的结构和特性以及对 Si_(1-x)Ge_x 合金层质量估价和异质结特性的检测方法。
高嵩
黄和鸾
陈国栋
李威
关键词:
异质结
双极晶体管
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