马丽莹
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
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- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺更多>>
- 微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石被引量：2
- 1992年
- 本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。
- 方莉俐张战李嘉马丽莹于鸿昌吴宝善
- 关键词：金刚石薄膜等离子体
- 金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究
- 1993年
- 选用国产毫米级人造单晶金刚石,用微波增强的化学气相沉积方法,在氢气、丙酮体系中,实现了单晶金刚石的气相外延生长。通过扫描电镜等分析,初步实现了对外延单晶金刚石薄膜的品质鉴定。实验还发现,外延生长温度与金刚石晶面的原子密度关系密切。
- 张战马丽莹李嘉孙振武方莉俐
- 关键词：金刚石CVD
- 金刚石薄膜气相外延生长被引量：1
- 1991年
- 本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶面的气相外延生长的研究,对单晶外延生长条件进行了初步的探讨,使用RED、SEM、MLRS等检测手段,对生长的外延层进行检测。
- 马丽莹张战李嘉方莉俐
- 关键词：金刚石气相外延
- 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析被引量：1
- 1991年
- 本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌,并对这些形貌的形成做了理论分析。
- 方莉俐张战李嘉马丽莹赵毫民于鸿昌吴宝善
- 关键词：金刚石微波化学气相沉积
