刘娟
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京师范大学附属中学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市优秀人才培养资助北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学更多>>
- 间苯二酚杯芳烃——化学家的建筑积木被引量：1
- 2016年
- 间苯二酚杯芳烃是超分子化学的第3代主体分子。介绍了间苯二酚杯芳烃的结构、衍生化途径及其衍生物的用途。
- 刘娟王力元
- 关键词：间苯二酚杯芳烃衍生物
- 一种新颖的大分子硫鎓盐产酸剂及其应用
- 子产酸剂是将能够光照产酸的基团通过化学修饰的手段连接到高分子的链上,本文以聚对羟基苯乙烯为原料,合成了一种新颖的大分子产酸剂,其苯环上氢部分被三氟甲磺酸根硫鎓盐取代.在254nm光照下,该聚合物链上的硫鎓盐基团分解并产生...
- 刘娟王力元
- 关键词：合成工艺性能评价
- 一种新颖的大分子硫鎓盐产酸剂及其应用
- 大分子产酸剂是将能够光照产酸的基团通过化学修饰的手段连接到高分子的链上,本文以聚对羟基苯乙烯为原料,合成了一种新颖的大分子产酸剂,其苯环上氢部分被三氟甲磺酸根硫鎓盐取代。在254nm光照下,该聚合物链上的硫鎓盐基团分解并...
- 刘娟王力元
- 关键词：光致抗蚀剂
- 含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂
- 本文对含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂进行了研究。4,4 ，-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感，在365nm光照时分解产酸。尽管产生的酸与染料的胺基发生作用，依然能在后烘过程中催化缩醛聚...
- 刘娟孔繁荣余金星王力元
- 关键词：感光材料化学增感光致抗蚀剂
- 基于聚对羟基苯乙烯的单组份深紫外光致抗蚀剂研究
- 刘娟王力元
- 关键词：叔丁氧羰基
- 基于聚对羟基苯乙烯的单组份深紫外光致抗蚀剂研究
- ＜正＞传统的化学增幅型光致抗蚀剂需加入小分子产酸剂,从而影响了其与成膜树脂的兼容性,在后烘过程中易出现相分离、酸分布不一致等问题,影响分辨率和线边缘粗糙度。若将产酸剂、阻溶促溶剂和成膜树脂合成在一个聚合物分子上,组成单组...
- 刘娟王力元
- 关键词：叔丁氧羰基
- 文献传递
- 几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质
- 2011年
- 硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性。以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2—0.7范围。
- 刘娟王争王力元
- 关键词：光产酸剂光致抗蚀剂光解量子效率
- 含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂被引量：1
- 2011年
- 4,4′-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.
- 刘娟孔繁荣余金星王力元
- 关键词：敏化剂染料酸解
