2025年1月23日
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刘莉
作品数:
50
被引量:29
H指数:3
供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
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理学
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合作作者
杨银堂
西安电子科技大学微电子学院微电...
李浩
西安电子科技大学
柴常春
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
马晓华
西安电子科技大学技术物理学院
王德君
西安电子科技大学
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刘莉
28篇
杨银堂
9篇
李浩
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马晓华
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柴常春
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王德君
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2011
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2007
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2006
2篇
2005
3篇
2004
1篇
2002
共
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SiC/SiO_2界面形貌对SiC MOS器件沟道迁移率的影响
被引量:1
2016年
为了研究SiC/SiO_2界面粗糙度对SiC MOS器件构道迁移率的影响,在离子注入后高温退火过程中采用碳膜保护SiC表面以减小退火过程中产生的表面粗糙度,碳膜的形成通过对光刻胶在600℃下前烘30min实现.研究结果表明:微结构分析所得的微米量级的横向表面粗糙度(峰对峰,谷对谷)不会影响电子平均自由程为纳米数量级的沟道电子在SiC MOS器件沟道中的迁移运动,在高温退火过程中,碳膜的是否存在对表面粗糙度和NMOS电容SiC/SiO_2界面态密度没有影响,而且NMOSFET器件的场效应迁移率没有发生太大的变化.
刘莉
杨银堂
关键词:
界面态密度
场效应迁移率
叠栅SiC-MIS电容的制作方法
本发明公开了一种叠栅SiC-MIS电容的制作方法,主要解决SiC功率MIS器件栅泄漏电流过大、SiC和SiO<Sub>2</Sub>界面态密度过高以及击穿特性较差的问题。其制作过程是:对N型SiC外延片进行标准湿法清洗;...
刘莉
王德君
马晓华
杨银堂
文献传递
耗尽型6H-SiC埋沟PMOSFET电流解析模型
被引量:1
2006年
在考虑到杂质的不完全离化作用时,建立了SiC埋沟PMOSFET在发生表面多子耗尽时的电流解析模型。实验结果和模拟结果的一致性说明了此模型的准确性。在300~600K温度范围表面弱电场的条件下.由于杂质不完全离化作用得到充分体现.因此器件的工作状态有不同于常规模型下的特性;当温度升高时离化率的增大使得杂质的不完全离化作用得不到体现,所以文中模型的结果向常规模型的结果靠近.且都与实验结果接近。同时为了充分利用埋沟器件体内沟道的优势.对埋沟掺杂的浓度和深度也进行了合理的设计。
刘莉
杨银堂
关键词:
碳化硅
一种降低栅极沟槽处电场的SiC功率MOS器件结构
一种降低栅极沟槽处电场的SiC功率MOS器件结构,包括自下而上的漏区、衬底以及漂移区,在漂移区上方设置栅极多晶硅,在栅极多晶硅左右两侧设置对称的半元胞结构,每个半元胞结构包括位于漂移区上方边沿的源级金属,源级金属下方设置...
李浩
钟铭浩
刘莉
分区复合栅结构SiC DMISFET器件的制作方法
本发明公开了一种分区复合栅结构SiC DMISFET器件的制作方法,其步骤依次为对N‑/N+型SiC外延片表面清洗;刻出P‑base区并高温Al离子注入;刻出N+掺杂源区并高温N离子注入;刻出P型掺杂接触区域并P型掺杂高...
刘莉
杨银堂
文献传递
一种改善SiC与SiO<Sub>2</Sub>界面态密度的方法
本发明提供一种改善SiC与SiO<Sub>2</Sub>界面态密度的方法,涉及一种微电子技术领域。该发明包括SiC外延片表面清洗;SiO<Sub>2</Sub>栅介质层生长;SiO<Sub>2</Sub>栅介质层的NO原...
刘莉
杨银堂
文献传递
一种GaN HEMT多级异质缓冲层结构
本发明公开了一种GaN HEMT多级异质缓冲层结构,布置于衬底与GaN沟道层之间,所述多级异质缓冲层结构为:沿源极向漏极方向依次紧邻布置的第一缓冲层至第N缓冲层,各缓冲层为Al含量不同的AlGaN;其中第N缓冲层的Al含...
曾凯
刘莉
师毅恒
李刚朋
郭靖祺
网络漏洞扫描器的设计与实现
随着计算机网络的日益普及,安全漏洞导致的网络安全事件频繁发生,可以利用漏洞扫描技术检测网络系统中存在的安全隐患,从而为加固系统、抵御攻击提供帮助。本文介绍了网络漏洞扫描的关键技术,如传统扫描技术、端口扫描技术和操作系统辨...
刘莉
关键词:
网络漏洞
网络安全
漏洞扫描
插件技术
文献传递
一种高熵钙钛矿氧化物材料及其制备方法与应用
本发明属于无机非金属材料制备技术领域,具体涉及一种高熵钙钛矿氧化物材料及其制备方法与应用。本发明公开的制备方法操作简单便捷,过程能耗小,且制备的高熵钙钛矿氧化物材料粒度小、纯度高、微观形貌好,具有良好的氧还原催化活性。本...
李一航
戎玉涛
任丛
吴巍炜
刘莉
一种具有温度稳定性的全SiC CMOS运算放大器
本发明实施例公开了一种具有温度稳定性的全SiCCMOS运算放大器,通过输入级生成第一偏置电压,对第一输入信号和第二输入信号进行差分放大输出第一放大电压,根据可调电压来调控输入级的增益;偏置电路根据第一偏置电压、第一输入信...
李浩
刘莉
马海伦
常帅军
钟铭浩
郭建飞
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