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周炜捷

作品数：25 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 25篇中文专利

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 11篇刻蚀
  • 7篇干法刻蚀
  • 5篇金属
  • 5篇衬底
  • 4篇电极
  • 4篇探测器
  • 4篇平坦化
  • 4篇清洗方法
  • 4篇牺牲层
  • 4篇硅衬底
  • 4篇半导体
  • 3篇淀积
  • 3篇湿法
  • 3篇湿法刻蚀
  • 3篇介电
  • 3篇介电材料
  • 3篇硅片
  • 2篇单片式
  • 2篇等离子体处理
  • 2篇地线

机构

  • 25篇上海集成电路...

作者

  • 25篇周炜捷
  • 12篇康晓旭
  • 10篇李铭
  • 9篇胡正军
  • 6篇赵宇航
  • 6篇陈寿面
  • 4篇袁超
  • 2篇姚嫦娲
  • 2篇胡少坚
  • 2篇任铮
  • 2篇曹永峰
  • 2篇周伟
  • 2篇朱建军
  • 2篇王勇
  • 2篇叶红波

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 8篇2018
  • 2篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法
本发明公开了一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法，在超低介电材料的双大马士革集成工艺中，通过将传统的铜化学机械抛光法与新型的铜无应力电化学抛光法相结合运用，在采用化学机械抛光粗研磨去除大部分铜层后，再采用无应力电化...
胡正军李铭陈寿面赵宇航周炜捷
文献传递
平坦牺牲层和MEMS微桥结构的制造方法
本发明提供平坦牺牲层和MEMS微桥结构的制造方法，包括：提供衬底，所述衬底上设置有介质层，在所述介质层中设置有插塞；沉积过渡层和顶层金属层，以覆盖所述介质层和所述插塞；图案化所述顶层金属层和过渡层形成顶层金属图案和图案化...
康晓旭周炜捷李铭
文献传递
硅片清洗方法
本发明公开了一种硅片清洗方法，包括：提供待清洗硅片，对该硅片采用多重频率的超声波进行清洗。在不同的清洗时间段中对不同的超声波频率采用不同的功率，从而能够有效的增强湿法清洗工艺窗口。
胡正军姚嫦娲周炜捷
一种半导体器件制程中的台阶的图形化方法
本发明揭示一种半导体器件制程中的台阶的图形化方法，所述半导体器件制程中的台阶的图形化方法包括如下步骤：提供一半导体基板，所述半导体基板包括至少一台阶；在所述半导体基板上形成第一材料层，所述第一材料层覆盖所述台阶；在所述第...
康晓旭周炜捷
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含无机物的有机抗反射层做双重图形硬掩模的工艺方法
一种含无机物的有机抗反射层做双重图形硬掩模的工艺方法，包括提供一个半导体衬底，在半导体衬底上淀积双重图形第二硬掩膜层；在双重图形第二硬掩膜层上覆盖一层含硅的有机硬掩膜层作为双重图形第一硬掩膜层；在双重图形第一硬掩膜层上覆...
姚树歆周炜捷
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改善台阶侧壁的薄膜刻蚀不完全的结构及方法
本发明提供了一种改善台阶侧壁的薄膜刻蚀不完全的结构及方法，该结构包括：在台阶侧壁依次设置的且高度递减的至少一个支撑层，使得支撑层形成的结构的顶部形成递减缓变坡度，从而使得后续沉积的薄膜在台阶侧壁处也呈缓变递减的坡度，台阶...
康晓旭李铭周炜捷
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一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法
本发明公开了一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法，在超低介电材料的双大马士革集成工艺中，通过将传统的铜化学机械抛光法与新型的铜无应力电化学抛光法相结合运用，在采用化学机械抛光粗研磨去除大部分铜层后，再采用无应力电化...
胡正军李铭陈寿面赵宇航周炜捷
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电容结构及其制备方法、可调节谐振波段的红外探测器
本发明提供了一种电容结构及其制备方法、可调节谐振波段的红外探测器，包括：位于硅衬底上的底部电极层，作为上电极层的引出极；在底部电极层的边缘区域上具有第一导电结构；位于底部电极层上方且与底部电极层之间具有间距的下电极层；与...
康晓旭周炜捷袁超
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平坦牺牲层和MEMS微桥结构的制造方法
本发明提供平坦牺牲层和MEMS微桥结构的制造方法，包括：提供衬底，所述衬底上设置有介质层，在所述介质层中设置有插塞；沉积过渡层和顶层金属层，以覆盖所述介质层和所述插塞；图案化所述顶层金属层和过渡层形成顶层金属图案和图案化...
康晓旭周炜捷李铭
文献传递
硅片清洗方法
本发明公开了一种硅片清洗方法包括：提供待清洗硅片，对该硅片采用多重频率的超声波进行清洗。在不同的清洗时间段中对不同的超声波频率采用不同的功率，从而能够有效的增强湿法清洗工艺窗口。
胡正军姚嫦娲周炜捷
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