张娟
- 作品数:10 被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 一种减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置
- 本发明公开了一种减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置。装置包括石墨支架、石墨板、石墨滑块和石墨盖板,石墨板上有衬底槽和母液收集槽,衬底和垫片叠放在衬底槽内。其特征在于:通过控制垫片与衬底的厚度,使其总厚度略小于衬底槽...
- 魏彦锋杨建荣张娟孙权志
- 文献传递
- 一种太赫兹差频源远距离主动探测系统
- 本发明公开一种太赫兹差频源远距离主动探测系统,该系统包括高功率1064nm激光器、光学参量振荡器、光束延迟线、半波片、偏振分光棱镜、硒化镓晶体、太赫兹透镜、太赫兹反射镜以及太赫兹探测器。该发明利用高功率太赫兹差频源辐射技...
- 黄志明黄敬国张娟杨秋杰李高芳周炜曲越姚娘娟张飞褚君浩
- 减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置
- 本实用新型公开了一种减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置。装置包括石墨支架、石墨板、石墨滑块和石墨盖板,石墨板上有衬底槽和母液收集槽,衬底和垫片叠放在衬底槽内。其特征在于:通过控制垫片与衬底的厚度,使其总厚度略小于衬...
- 魏彦锋杨建荣张娟孙权志
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- 太赫兹差频源远距离主动探测系统
- 本专利公开一种太赫兹差频源远距离主动探测系统,该系统包括高功率1064nm激光器、光学参量振荡器、光束延迟线、半波片、偏振分光棱镜、硒化镓晶体、太赫兹透镜、太赫兹反射镜以及太赫兹探测器。该专利利用高功率太赫兹差频源辐射技...
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- 一种太赫兹差频源远距离主动探测系统
- 本发明公开一种太赫兹差频源远距离主动探测系统,该系统包括高功率1064nm激光器、光学参量振荡器、光束延迟线、半波片、偏振分光棱镜、硒化镓晶体、太赫兹透镜、太赫兹反射镜以及太赫兹探测器。该发明利用高功率太赫兹差频源辐射技...
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- 碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法
- 本发明公开了一种碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法,其特征步骤如下:使原本背面残液不可使用的碲镉汞材料通过化学腐蚀和机械抛光的办法,在不影响材料质量的情况下得以正常使用。该装置和方法的优点是:整个过程中清洗干净的碲镉汞...
- 孙瑞贇杨建荣魏彦锋张传杰孙权志陈倩男张娟陈晓静
- Au掺杂HgCdTe材料的光电特性被引量:1
- 2021年
- Au掺杂是改善光伏型HgCdTe红外探测器性能的一种技术途径,通过Au掺杂来取代HgCdTe材料中的本征的Hg空位,可以提高材料的少子寿命和少子扩散长度。采用液相外延技术生长了Au掺杂的HgCdTe外延材料,Au的掺杂浓度为~8×10^(15)/cm^(3),通过富Hg退火技术来抑制材料中的Hg空位,Hg空位的浓度控制在1~2×10^(15)/cm^(3)。变温霍尔测试表明,退火材料中的受主杂质能级为8~12 meV,并且与退火条件相关。采用Au掺杂材料和离子注入成结工艺制备了截止波长为14μm的甚长波红外焦平面器件,测试结果显示,用Au掺杂取代Hg空位掺杂,可以显著提高红外探测器的光响应率,探测器的内量子效率可以达到95%以上。
- 魏彦锋孙权志张娟孙瑞赟
- 关键词:少子扩散长度
- 一种液相外延衬底化学抛光系统
- 本实用新型公开一种液相外延衬底化学抛光系统。系统采用衬底真空吸附系统来避免粘蜡工序所引起的表面平整度差、易碎及繁琐的化学清洗问题。在真空吸附系统中的样品盘上刻一深度和工艺所需衬底厚度相同的槽,并设置警铃提醒,当衬底厚度达...
- 张娟魏彦锋孙权志孙瑞赟陈倩男
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- 碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法
- 本发明公开了一种碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法,其特征步骤如下:使原本背面残液不可使用的碲镉汞材料通过化学腐蚀和机械抛光的办法,在不影响材料质量的情况下得以正常使用。该装置和方法的优点是:整个过程中清洗干净的碲镉汞...
- 孙瑞贇杨建荣魏彦锋张传杰孙权志陈倩男张娟陈晓静
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- 液相外延衬底化学抛光系统
- 本发明公开一种液相外延衬底化学抛光系统。系统采用衬底真空吸附系统来避免粘蜡工序所引起的表面平整度差、易碎及繁琐的化学清洗问题。在真空吸附系统中的样品盘上刻一深度和工艺所需衬底厚度相同的槽,并设置警铃提醒,当衬底厚度达到预...
- 张娟魏彦锋孙权志孙瑞赟陈倩男
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