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张振厚

作品数：87 被引量：137H指数：6
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程农业科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 68篇专利
  • 14篇期刊文章
  • 3篇科技成果
  • 2篇会议论文

领域

  • 12篇一般工业技术
  • 3篇机械工程
  • 2篇农业科学
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇冶金工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 35篇真空泵
  • 14篇泵用
  • 13篇轴封
  • 12篇干式真空泵
  • 11篇罗茨
  • 11篇密封
  • 10篇轴承
  • 9篇氮化硅
  • 9篇转子
  • 8篇氮化
  • 7篇真空
  • 7篇轴承腔
  • 7篇PECVD
  • 7篇超高真空
  • 6篇型线
  • 6篇气体流量
  • 6篇罗茨泵
  • 6篇静密封
  • 6篇粉尘
  • 6篇粉尘颗粒

机构

  • 84篇中国科学院
  • 7篇东北大学
  • 3篇中国科学院沈...
  • 2篇天津大学
  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇沈阳大学
  • 1篇沈阳农业大学
  • 1篇北京卫星环境...

作者

  • 87篇张振厚
  • 62篇王光玉
  • 22篇秦柏林
  • 20篇张健
  • 17篇孔祥玲
  • 12篇赵崇凌
  • 11篇薛玉茹
  • 11篇李士军
  • 11篇徐宝利
  • 11篇洪克超
  • 11篇钟福强
  • 11篇刘坤
  • 11篇张冬
  • 10篇刘在行
  • 9篇张利国
  • 9篇陆涛
  • 8篇郭丽娟
  • 7篇巴德纯
  • 7篇赵科新
  • 6篇袁亮

传媒

  • 5篇真空科学与技...
  • 4篇真空
  • 3篇真空与低温
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇沈阳农业大学...

年份

  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 10篇2012
  • 24篇2011
  • 10篇2010
  • 5篇2009
  • 8篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2004
  • 2篇2003
  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
  • 2篇1998
  • 2篇1996
共 87 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
本实用新型涉及氮化硅(SiNx)薄膜领域，具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜系统。该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II，装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体，装载腔...
张振厚赵科新赵崇凌李士军张健张冬洪克超段鑫阳徐宝利钟福强陆涛
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一种真空泵用排气口结构
本实用新型公开一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，其特征在于：还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。本实用新型具有如...
张振厚王光玉孔祥玲
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真空泵用轴封结构
本实用新型涉及真空泵机组装置，具体地说是一种真空泵用轴封结构，包括轴承油封外环、油封、油封罩、油封外套及油封内套，其中轴承油封外环、油封外套及油封内套依次设在真空泵的壳体与轴之间；所述油封为双重油封，包括第一油封及第二油...
张振厚王光玉秦柏林
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超高真空手、气动闸板阀
本发明涉及超高真空系统中的闸板阀，具体地说是一种用于调节气体流量，切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀，包括上阀板、下阀板及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布...
袁亮郑锐赵洪吉张立国张振厚王光玉
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真空泵用排气装置
本实用新型涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置，包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进...
张振厚王光玉秦柏林
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一种真空泵密封结构
本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤装置及油气分离装置，所述轴在轴承腔与油腔的部分沿轴向设有盲孔，过滤装置设置在该盲孔的靠近油腔的一端，所述轴的轴承腔段沿径...
张振厚王光玉刘在行
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一种真空泵用预抽装置
本发明涉及真空泵机组装置，具体地说是一种真空泵用预抽装置，该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内，包括倒气螺杆、阀体及过滤桶，其中倒气螺杆的一端与真空泵的泵体相连，另一端与阀体螺纹连接，在阀体上密封连接有过滤桶，轴承腔内的气...
张振厚王光玉秦柏林
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一种真空泵用电机
本实用新型涉及一种真空泵用电机，属于电机领域。它具有泵体、电机定子、转子，电机采用屏蔽套筒结构，在电机转子与电机定子之间设有屏蔽套筒，主动轴与泵体之间的动密封转化为静密封。本实用新型彻底解决轴封泄露及起动冲击问题，改泵轴...
王光玉秦柏林张振厚张健
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罗茨干泵(机组)
张振厚王光玉秦柏林张利国薛玉茹刘坤张健赵洪吉刘在行郭丽娟郭俊辉房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备，由于技术门槛高，国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额，国内产品在工程化应用方面尚属于空白。　　罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为：　...
关键词：
一种双向磁场增强装置
本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场，具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度，进而提高产能的双向磁场增强装置，包括真空室及石英管，其中石英管安装在真空室内，在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁...
张振厚赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
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