徐藻
- 作品数：4 被引量：27H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学技术大学青年基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 双光子三维微细加工的进展被引量：11
- 2004年
- 介绍了双光子微细加工的原理及特点 ,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展 .同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果 .
- 袁大军蒋中伟徐藻郭锐王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发飞秒激光微细加工激光加工
- 飞秒激光双光子复杂结构的微细加工被引量：6
- 2004年
- 阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
- 袁大军蒋中伟郭锐徐藻王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 双光子三维微细加工的分辨率研究被引量：7
- 2004年
- 为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
- 蒋中伟袁大军郭锐徐藻王翔夏安东黄文浩
- 关键词：双光子激发
- 硅基片微型通孔加工技术被引量：7
- 2004年
- 介绍了硅基片微型通孔的用途及在微机电系统发展中的重要性,从原理、过程、优缺点等方面详细叙述了激光打孔法、湿法刻蚀法、深度反应离子刻蚀法(DRIE)和光辅助电化学刻蚀法(PAECE)等四种硅基片微型通孔的加工方法,并对各种方法进行了比较,提出了各种方法的适用范围。
- 赵钢褚家如徐藻
- 关键词：微机电系统
