2025年7月25日
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成金龙
作品数:
40
被引量:5
H指数:2
供职机构:
南京理工大学
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相关领域:
机械工程
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电子电信
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合作作者
高志山
南京理工大学电子工程与光电技术...
袁群
南京理工大学电子工程与光电技术...
王帅
南京理工大学
杨忠明
南京理工大学
朱丹
南京理工大学
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机构
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南京理工大学
作者
40篇
成金龙
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高志山
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袁群
30篇
王帅
18篇
杨忠明
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朱丹
13篇
王凯亮
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叶井飞
11篇
王伟
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田雪
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2012
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基于双波长斐索干涉仪测量光学非均匀性的研究
<正>提出了一种基于双波长斐索干涉仪测量光学元件的光学非均匀性的方法。基于不同波长下的光学非均匀性之差远小于实际光学非均匀性的精度要求,分别测量两波长下待测样品的前后表面波前信息,计算得到待测样品的光学非均匀性,同时得到...
田雪
高志山
成金龙
王凯亮
关键词:
非均匀
文献传递
球面面形检测中待测球面倾斜偏移高阶调整误差校正方法
本发明公开了一种球面面形干涉检测中待测球面倾斜偏移高阶调整误差的高精度校正方法。首先利用干涉仪测得同时包含待测球面实际面形误差和调整误差的原始面形数据,对原始面形进行泽尼克多项式拟合,利用待测球面的曲率半径以及拟合多项式...
高志山
杨忠明
田雪
王新星
成金龙
王帅
史琪琪
李闽珏
文献传递
基于散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的方法
本发明公开了一种基于散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的方法,本方法基于搭建散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的装置以及时域有限差分方法建立的面型信息数据库,采用椭圆偏振散射测量法获取偏振扰动变化信息,利用加权最...
高志山
赵彦
窦建泰
刘志颖
袁群
杨忠明
王帅
成金龙
文献传递
太阳模拟器光学系统
本发明公开了一种太阳模拟器光学系统,包括氙灯、椭球面聚光镜、第一平面反射镜、光学积分器、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜和外壳。氙灯位于椭球面聚光镜第一焦点处,光学积分器为对称式结构,由两组元素透镜阵列组成,...
高志山
王新星
杨忠明
窦健泰
田雪
史琪琪
李闽珏
王帅
成金龙
文献传递
一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法
本发明公开了一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法,基于莫尔条纹理论利用双波长干涉测试装置检测非球面时,可以得到两种波长干涉条纹叠加后的圆载频莫尔条纹图,提出了一种从圆载频莫尔条纹图直接提取合成波长相位的方法。...
高志山
成金龙
王凯亮
王伟
王帅
袁群
窦建泰
朱丹
文献传递
基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法,通过在双波长斐索干涉仪装置中,先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图,通过第一步移相测量得到波长λ<Sub>1</Sub>和λ<Sub>2<...
高志山
王凯亮
成金龙
王伟
王帅
袁群
杨忠明
朱丹
窦建泰
叶井飞
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双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置
本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置,共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜,光线经孔径光阑形成点光源,再经正透镜形成平行光,平行光穿过半透半反分光镜,入射到双...
高志山
窦健泰
王若言
宋华清
杨忠明
王帅
成金龙
王凯亮
王伟
叶井飞
袁群
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一种小F数多波长标准球面参考透镜组
本发明公开了一种小F数多波长标准球面参考透镜组,工作波长为632.8nm、543.5nm和532nm,采用色散低的冕牌玻璃ZK7和色散高的火石玻璃ZF6实现透镜组的消色差;采用3片式透镜设计,由双胶合正透镜、负透镜和最后...
高志山
成金龙
王凯亮
王伟
王帅
袁群
杨忠明
朱丹
窦建泰
叶井飞
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斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法
本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集,同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次,针对传统双波长移相干涉测试装...
高志山
成金龙
王帅
王凯亮
王伟
袁群
窦建泰
朱丹
文献传递
一种基于π/4相移的多光束干涉相位提取方法
本发明公开了一种基于π/4相移的多光束干涉相位提取方法,首先基于多光束干涉光强的分析,建立了多光束干涉光强近似分布模型;在此基础上,结合载频交叠重构理论,提出了π/4相移算法,实现了高阶谐波分量和移相误差分量与相位分量在...
高志山
成金龙
王伟
王凯亮
王帅
袁群
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