李光杨
- 作品数：10 被引量：8H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委科研计划项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术更多>>
- 用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法
- 一种微电子材料技术领域的用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法。包括：<1>将经过DRIE刻蚀的硅片与导电装置连接为阳极或者阴极系统，作为导电装置接电泳仪器的正极或者负极，构成回路；<2>将与导电装...
- 汪红李光杨丁桂甫姚锦元吴义伯杨春生
- 电镀阴极振动装置
- 一种机械电镀技术领域的电镀阴极振动装置，包括：电磁感应线圈、弹簧、杠杆横梁、铁片、支架、阴极夹具和基板，电磁感应线圈、弹簧的一端以及支架分别固定设置于基板上，杠杆横梁固定设置于支架上，弹簧的另一端与杠杆横梁相连接，铁片固...
- 汪红李光杨姚锦元丁桂甫苏永其孔令飞
- 基于手势信息的加密系统
- 本发明涉及安全加密技术领域的一种基于手势信息的加密系统，包括：主处理模块、传感模块、密码设定模块、显示模块和存储模块，其中，主处理模块与传感模块相连接以采集密码输入信息，主处理模块与密码设定模块相连接以对系统重新设定密码...
- 陈晖李世鹏李光杨
- 文献传递
- 金属基超疏水材料的制备方法
- 一种超疏水技术领域的金属基超疏水材料的制备方法，通过对疏水基片进行预处理后作为模板，用聚二甲基硅烷复制得到无序阵列状结构，然后在无序阵列状结构上生长工程金属材料并涂覆低表面能层，实现超疏水性。本方法不需要使用强酸以及有毒...
- 汪红李光杨丁桂甫杨卓青姚锦元
- 文献传递
- 对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响被引量：1
- 2010年
- 利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏。
- 陈晖李光杨汪红王艳丁桂甫赵小林
- 关键词：微电铸
- 电镀阴极振动装置
- 一种机械电镀技术领域的电镀阴极振动装置，包括：电磁感应线圈、弹簧、杠杆横梁、铁片、支架、阴极夹具和基板，电磁感应线圈、弹簧的一端以及支架分别固定设置于基板上，杠杆横梁固定设置于支架上，弹簧的另一端与杠杆横梁相连接，铁片固...
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- 文献传递
- 镀液流向可控的电镀装置
- 本实用新型公开了一种镀液流向可控的电镀装置，包括：槽体，阴极，阳极，进液口，出液口，定位挡板，过滤装置，流量计，控制电镀液流向的引导装置，电镀装置内安装有液体流向引导装置，所属的液体流向引导装置包括液体流向转换机构、引导...
- 汪红李艳春陈晖李光杨丁桂甫赵小林
- 文献传递
- 水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响被引量：4
- 2011年
- 利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传输,但均匀搅拌更有利于镀层均匀性;垂直流动相对于水平流动因离子到达阴极表面各处的传质阻力相同,故能有效改善镀层形貌的均匀性。
- 陈晖汪红李光杨姚锦元王艳丁桂甫
- 关键词：微电铸
- 提高微结构表面在镀液中的润湿性被引量：3
- 2010年
- 为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。
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- 关键词：光刻胶表面改性接触角润湿性微结构
- 用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法
- 一种微电子材料技术领域的用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法。包括：<1>将经过DRIE刻蚀的硅片与导电装置连接为阳极或者阴极系统，作为导电装置接电泳仪器的正极或者负极，构成回路；<2>将与导电装...
- 汪红李光杨丁桂甫姚锦元吴义伯杨春生
- 文献传递
