李凤友
- 作品数：15 被引量：158H指数：9
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 适于红外双色探测的光学系统被引量：2
- 2003年
- 设计了适于红外双色探测器的光学系统 .该系统在两个波段内同时较好的满足了像差校正 .波前差小于 1/4波长 ,光学传递函数接近衍射极限 .该系统透射比高 ,设计结构紧凑 ,片数小 .降低了对工艺水平的要求 .
- 孙强王肇圻李凤友卢振武陈波
- 关键词：光学系统像差校正光学传递函数透射比红外辐射
- 折/衍混合增强现实头盔显示器光学系统设计被引量：16
- 2004年
- 利用衍射光学元件独有的负色散性质和可实现光波面任意相位调制的特点 ,在光学系统中引入衍射面 ,设计了出瞳距离为 2 6mm ,出瞳直径为 12mm ,视场角为 2 0°(H)× 15 .4°(V)的用于增强现实的折 /衍混合穿透式双通道头盔显示器的光学系统。设计的系统内、外两个光通道的光能量利用率分别达到 1/4和 1/2。系统分辨力适合采用分辨率为 80 0× 6 0 0、像元尺寸为 33μm的图像源。设计结果 ,系统镜头直径小于 4 6mm ,满足用于双目显示的要求。设计结果表明 ,该系统不仅在结构上满足使用者因素的要求 ,而且成像质量接近衍射极限 ,具有很高的分辨率 ,色差和畸变非常小。设计结果完全满足用于增强现实的要求。
- 张慧娟王肇圻赵秋玲李凤友曹召良陈波卢振武
- 关键词：衍射光学元件光学设计视场角色差
- 折/衍混合单透镜在目镜中的应用研究被引量：21
- 2003年
- 以传统凯涅尔目镜为基础 ,采用ZEMAX软件 ,设计了衍射面位于目镜系统中不同位置时的折 衍混合目镜系统。所有系统均仅采用最普遍的K9玻璃。设计结果与传统凯涅尔目镜的光学性能进行了分析和比较。结果表明折 衍混合目镜系统在校正目镜的像差 ,例如像散、垂轴色差、垂轴像差、轴向像差和轴向色差等方面优于传统的凯涅尔目镜。选择合适的衍射面位置 ,可以同时获得符合要求的畸变。衍射面的引入 ,极大地减小了系统的重量和尺寸。
- 张慧娟王肇圻李凤友陈波卢振武母国光
- 关键词：光学设计目镜光学成像
- 入射光波波长对菲涅耳透镜衍射效率的影响被引量：2
- 2001年
- 使用离子束刻蚀法成功制作高衍射效率 16阶菲涅耳透镜。菲涅耳透镜的衍射效率是评价菲涅耳透镜质量的一个重要指标。对于宽带光学系统 ,除设计、制作误差外 ,入射光波波长对菲涅耳透镜的衍射效率也有影响。针对宽带折衍混合光学系统 ,分析不同入射光波波长对菲涅耳透镜衍射效率的影响。使用四种不同光源 ,对菲涅耳透镜的衍射效率进行测试。指出在短波方向 ,衍射效率下降较多 ;在长波方向 。
- 李红军李凤友卢振武廖江红翁志成
- 关键词：菲涅耳透镜衍射效率
- 二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析被引量：22
- 2002年
- 利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期足够小的时候,光栅面形对反射率没有影响,同时占空比严重影响着光栅的特性,这对设计制造抗反射光栅非常有用。同时也研究了等效介质理论的适用性。
- 曹召良卢振武李凤友张慧娟孙强
- 关键词：光栅抗反射亚波长占空比反射率
- 直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)被引量：14
- 2002年
- 介绍了具有直角坐标和极坐标写入系统的激光直写设备 。
- 李凤友卢振武谢永军张殿文
- 关键词：极坐标衍射光学元件计算全息图光刻
- 激光直接写入工艺的研究被引量：13
- 2001年
- 本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 0μm的线光栅和线宽为 10 μm的分划板 。
- 李凤友卢振武张殿文李红军赵晶丽丛小杰翁志成
- 关键词：光刻
- 激光直写中离焦写入的研究
- 本文从理论计算和光线追迹法对激光直写光刻工艺中离焦对线条影响进行了分析研究;使用激光直写设备开展了离焦写入工艺实验,得以写入线条宽度与离焦量的关系实验曲线;实验和理论计算及光线追迹的结果吻合很好,利用离焦写入方法的在光刻...
- 卢振武李凤友谢永军张殿文裴苏赵晶丽
- 关键词：激光直写光刻离焦量工艺要求
- 文献传递
- 激光直写系统焦斑整形的研究被引量：23
- 2001年
- 针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善系统分辨能力的有效途径。
- 李凤友李红军卢振武廖江红
- 关键词：激光直写光束整形衍射光学元件DOE光刻
- 激光直接写入系统线宽分析
- 在激光直接写入系统中,由于抗蚀剂内的曝光量分布和光强分布之间有差别。本文给出了用激光直接写入技术制作二元光学元件时,抗蚀剂内曝光量的计算公式。文章分析了抗蚀剂内曝光区域各点的曝光量分布,它们在显影后所对应的侧壁角和线条宽...
- 谢永军卢振武李凤友马月英丛小杰翁志成
- 关键词：激光直写抗蚀剂二元光学
- 文献传递
