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秦明

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院力学研究所更多>>
相关领域：理学电子电信动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇提拉法
  • 1篇数值模拟
  • 1篇提拉速率
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体生长
  • 1篇硅晶
  • 1篇硅晶体
  • 1篇硅
  • 1篇磁场
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇中国科学院力...

作者

  • 2篇秦明
  • 1篇陈启生
  • 1篇邓谷雨

传媒

  • 1篇力学与实践

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅晶体生长过程的数值模拟
提拉法和垂直梯度凝固法是单晶硅生长中的两种主要方法。随着工业上对单晶硅质量要求的提高，越来越多的影响晶体质量的因素进入研究人员的视野，例如电磁场对流动的影响、流动的振荡、残余应力的产生和生长界面形状控制等。因此进行相应的...
秦明
关键词：单晶硅晶体生长提拉法数值模拟
硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响
2009年
通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena program)程序模拟了工业8in单晶硅提拉法生长过程,数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min,尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量.
陈启生秦明邓谷雨
关键词：提拉法单晶硅提拉速率
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