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蔡亚梅

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：西安飞行自动控制研究所更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 1篇清洗技术
  • 1篇微光机电系统
  • 1篇机电一体化
  • 1篇机械制造
  • 1篇机械制造工艺
  • 1篇光机
  • 1篇光机电
  • 1篇LIGA技术
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面

机构

  • 2篇西安飞行自动...

作者

  • 2篇蔡亚梅
  • 1篇王宇
  • 1篇滕霖

传媒

  • 1篇航空精密制造...
  • 1篇中国航空学会...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
超光滑表面清洗技术现状及发展趋势被引量：9
2003年
论述了目前超光滑表面清洗的基本理论,常用清洗工艺及清洗方法,最后对清洗技术的发展前景进行了展望。
王宇蔡亚梅滕霖
关键词：超光滑表面清洗技术
微光机电系统制造技术探索
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)制造技术的现状,主要针对硅微机械加工技术和LIGA技术,讲述了这些技术的原理和工艺流程。最后指出了MOEMS制造技术的发展趋势。
蔡亚梅
关键词：微光机电系统LIGA技术机械制造工艺机电一体化
文献传递
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共1页<1>
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