袁春华
- 作品数：11 被引量：48H指数：4
- 供职机构：西南科技大学理学院更多>>
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- 相关领域：电子电信理学化学工程生物学更多>>
- 不同气体环境下532nm激光诱导硅表面形貌的研究被引量：2
- 2011年
- 研究了在不同气体环境下,利用532 nm Nd∶YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构,结果表明,在其他条件相同,背景气体不同的情况下,背景气体对硅表面形貌的形成起着重要的作用。具体分析了真空、N2和SF6 3种环境气氛下形成的微结构,结果显示,在SF6中形成的锥形微结构的数密度比在N2和真空中的大,并且锥形具有更大的纵横比;在N2、真空和SF6中形成的微结构尺寸依次减小。SF6气氛下,激光辅助化学刻蚀的效率比在真空和N2气氛中的高。另外,辐照区域边缘有波纹微结构形成,分析认为,该微结构的形成是由表面张力波的冷却导致的。
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- 关键词：激光应用硅表面形貌
- 1064nm纳秒脉冲激光诱导硅表面微结构研究被引量：5
- 2011年
- 利用Nd:YAG纳秒激光(波长为1064nm)在不同气氛(空气、N2,真空)中对单晶硅进行累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,与532和355nm纳秒脉冲激光在硅表面诱导出波纹结构不同,1064nm脉冲激光诱导出了微孔结构和折断线结构,并且硅的晶面取向不同,相应的折断线结构也不同.对于Si(111)面,两条折线交角为120°或60°,形成网状;而对于Si(100)面,两条折断线正交,从而将表面分成了15—20μm的矩形块.结果表明,微孔结构的生长过程主要与相爆炸有关,而折断线的形成主要是热应力作用的结果.不同气氛对微结构形成的影响表明,刻蚀率和生长率与微结构的形成有密切的关系.
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- 关键词：纳秒激光热应力
- 机械剥离法制备高质量石墨烯的初步研究被引量：20
- 2010年
- 采用机械剥离法制备了高质量的石墨烯。利用光学显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪分析了石墨烯的厚度、形貌和结构。结果表明剥离的石墨薄层包含了高质量的单层及2~3层石墨烯。机械剥离法是制备高质量石墨烯最简单的方法。
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- 关键词：石墨烯
- 离子轰击辅助电子束蒸发制备含有纳米石墨结构的非晶碳膜
- 2009年
- 采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜。利用XRD、Raman和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌。结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜。随着离子轰击能量的增大,碳膜的厚度随之减小,纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大,碳膜表面粗糙度增大,并找到了最佳的离子轰击能量。通过对Raman光谱分析发现,在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2 nm。
- 唐多昌李晓红袁春华
- 关键词：离子轰击纳米石墨非晶碳膜
- 纳秒激光辐照对类金刚石薄膜的损伤及改性被引量：2
- 2010年
- 利用Nd:YAG纳秒激光(波长分别为355、532和1064nm)辐照由电子束蒸发技术制备的类金刚石(DLC)薄膜,通过光学显微镜、光学轮廓仪和拉曼光谱仪等分析了辐照后的薄膜样品,结果表明:不同波长的单脉冲激光辐照时,DLC膜的激光损伤阈值不同;同一波长的多脉冲激光辐照时,损伤阈值低于单脉冲辐照阈值;脉冲激光辐照对DLC膜具有改性作用,受辐照薄膜区域表层发生了石墨化、剥落和气化效应,致使DLC膜表面出现了隆起和弹坑,隆起高度和弹坑深度与激光能量密度大小和脉冲个数有关。
- 唐多昌李晓红袁春华杨宏道李国强
- 关键词：类金刚石薄膜激光辐照激光损伤
- 不同气体环境下532 nm激光诱导硅表面形貌的研究
- 本文研究了在不同气体环境下，利用532bn Nd：YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构。结果表明，在其他条件相同，背景气体不同的情况下，背景气体对硅表面形貌的形成起着霞要的作用。具体分析了真空、N：和SF6 ...
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- 关键词：激光应用
- 文献传递
- Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化被引量：5
- 2010年
- 利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果。
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- 关键词：硅
- 不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构被引量：8
- 2010年
- 利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化。在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构。累积600个脉冲后,硅表面产生了准规则排列且具有大纵横比的锥形尖峰结构。该结构呈现高度相对较低、锥形尖端小球不明显的特征,分析认为主要与环境气压的大小有关。对比空气、SF6和真空中的微结构发现,尖峰的数密度依次减小;SF6中形成的尖峰高度最大,其次为真空,再次为空气。研究结果表明,真空、SF6和空气3种环境下微结构的形成及表面形貌主要由激光烧蚀、化学刻蚀和氧化决定。
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- 关键词：飞秒激光激光诱导硅
- 飞秒激光制备彩色镍被引量：3
- 2011年
- 采用飞秒脉冲激光在空气条件下扫描处理镍片表面,制备了彩色镍。用扫描电子显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、拉曼光谱仪等对其进行了表征。扫描电子显微镜测量显示,彩色镍表面出现了纳米激光诱导周期表面结构,结构周期为480-510 nm;紫外-可见-近红外分光光度计测量表明,彩色镍对波长为200-2 200 nm的光的反射率大大降低;拉曼谱表明样品表面形成了一定含量的氧化镍。
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- 关键词：飞秒激光激光诱导表面等离子激元
- 波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响被引量：1
- 2010年
- 为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空气中形成的微结构较真空和N_2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF_6和真空中产生的锥形结构比N_2和空气中要更为显著,但SF_6中形成的微结构上有絮状物的结果。结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同。该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的。
- 袁春华李晓红唐多昌杨宏道
- 关键词：激光物理硅
