裴强
- 作品数：6 被引量：35H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真被引量：10
- 2003年
- 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 。
- 裴强夏善红龚超白强陈绍凤
- 关键词：MEMS技术微型电场传感器仿真
- 振动式微型电场传感器
- 一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感应部分，在振动部分形成振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激振电极(2)和屏蔽电极(3)，在感应部分制备第二激振电极(5)和感应电极(6)。本发明的微型电场传感器基于微加工技术...
- 夏善红裴强白强龚超
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真
- 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器.该传感器采用半导体微加工工艺制备,具有体积小、重量轻、功耗低等优点.阐述了传感器的工作原理,描述了设计方案,介绍了计算机模拟仿真结果.
- 裴强夏善红龚超白强陈绍凤
- 关键词：微电子机械系统电场传感器微加工工艺计算机模拟
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究
- 电场与人类的生产生活活动息息相关.为了测量各种电场参数,人们进行了深入的研究,发明了多种电场传感器.但是用于静电场测量的微型电场传感器至今未见报道.该文提出了一种新颖的电场传感器设计方案,其优点是体积小、易批量加工,可以...
- 裴强
- 关键词：电场传感器微机电系统传感技术MEMS技术
- 文献传递
- 振动式微型电场传感器
- 一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感应部分，在振动部分形成振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激振电极(2)和屏蔽电极(3)，在感应部分制备第二激振电极(5)和感应电极(6)。本发明的微型电场传感器基于微加工技术...
- 夏善红裴强白强龚超
- 文献传递
- 新型旋片式空中电场传感器及应用被引量：24
- 2004年
- 该文介绍一种新型的空中电场传感器,它利用导体在电场中感应电荷的原理,通过感生电荷的 变化检测电场强度。传感器采用了新型的双定子结构以及独特的电路设计,有效地屏蔽了空中积累电荷以及 空间离子流对测量的影响。本器件用以检测100V/m-50000V/m的高空电场,误差小于5％。此传感器 已进行地面至15km空中电场探测试验,得到满意的空中电场测试数据。
- 白强夏善红陈绍凤裴强龚超
- 关键词：感应电荷
