贾雁鹏
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
- 本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源，提供第二激光束的激光光源，用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件，和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤：...
- 段宣明曹洪忠贾雁鹏陈述董贤子赵震声
- 文献传递
- 双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构被引量：4
- 2014年
- 利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15min时,所得到的镀层厚度约为130nm。对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35min时得到的镀层电阻率约为80×10-9Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9Ω·m的5倍。利用这种方法,我们制备了总长度为28.75μm、周期为2.93μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6μm,弹簧线分辨率为1.17μm。文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备,在微光学器件、微机电系统(MEMS)及微传感器等领域有着广泛的应用前景。
- 贾雁鹏郑美玲董贤子赵震声段宣明
- 关键词：化学镀
- 三维金属微纳米器件的制备方法
- 本发明涉及一种三维金属微纳米器件的制备方法。该方法包括利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结...
- 段宣明贾雁鹏董贤子田野刘前赵震声
- 文献传递
- 一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
- 本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源，提供第二激光束的激光光源，用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件，和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤：...
- 段宣明曹洪忠贾雁鹏陈述董贤子赵震声
- 三维金属微纳米器件的制备方法
- 本发明涉及一种三维金属微纳米器件的制备方法。该方法包括利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结...
- 段宣明贾雁鹏董贤子田野刘前赵震声
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