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陈惠凯
作品数:
2
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供职机构:
山东工业大学
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相关领域:
电子电信
文化科学
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合作作者
李惠军
山东工业大学
郝修田
山东工业大学
张新
山东工业大学
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2000
1篇
1998
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集成电路制造技术多媒体计算机辅助教学系统
2000年
介绍了集成电路制造技术多媒体计算机辅助教学系统的功能及开发。
李惠军
张新
郝修田
陈惠凯
关键词:
集成电路
计算机辅助教学
课程软件
PMOS FET栅氧化五步新模式——抑制PMOS栅氧化杂质分凝的计算机模拟
1998年
采用一维工艺及器件CAD系统对PMOS结构栅氧化工艺实施联机模拟,并推出新型的三步转五步栅氧化模式。模拟及实验证实,该模式可显著抑制PMOS结构栅氧化过程中的杂质分凝。
李惠军
陈惠凯
关键词:
PMOS
计算机模拟
FET
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