陈海星
- 作品数：30 被引量：161H指数：10
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 多层周期性薄膜结构的耦合波方法的研究
- 2004年
- 在分析耦合波方法与传输矩阵法相互联系的基础上以短波通薄膜滤光片为例,分别计算了正入射和斜入射情况下的修正耦合波方法的计算结果并与一般耦合波法、传输矩阵法计算的结果进行了比较,数值计算的结果表明在入射角度不是太大情况下,修正耦合波方法完全可以替代传输矩阵法对多层周期性薄膜结构进行分析和设计。
- 陈海星黄弼勤顾培夫
- 关键词：传输矩阵法耦合波方程滤光片
- 双金属镜微腔结构中单介质调谐层的设计
- 2004年
- 根据优化势透射率给出了双金属镜微腔中理想单介质调谐层的折射率和厚度,估算了由于在可见光波段实际材料的限制引起的透射率光谱的改变,并且结合腔镜的反射系数和位相改变引起的微腔辐射因子的变化,综合考虑了单介质调谐层对整个器件发光耦合效率的影响。说明在设计含有源层的金属薄膜微腔器件中,介质层的设计和优化应考虑微腔效应的变化。
- 杨立功吴鹏秦晓芸顾培夫陈海星刘旭
- 关键词：特征矩阵
- 可调谐液晶滤波器的调谐性能研究被引量：13
- 2004年
- 在电调谐液晶法布里珀罗腔滤波器的连续调谐过程中 ,存在“透射峰跳跃”现象 ,影响器件的单调调谐性。为了改善器件的单调调谐性能 ,对此现象进行了分析 ,表明这是由于法布里珀罗腔干涉级次在调谐过程中发生改变引起的 ;进而给出了法布里珀罗腔透射波长λ ,干涉级次m与腔内介质折射率n的关系 ,以及器件实际的有效调谐范围。当腔长为 10 μm、折射率差为 0 .0 5时 ,就可以使器件的单调调谐范围达到整个C波段。数值模拟与实验结果相吻合。并针对改善器件的单调调谐性能 ,提出了几种可行的方案。
- 吕玮阁陈海星顾培夫刘旭
- 关键词：调谐范围可调谐电调谐C波段腔长
- 多层周期性薄膜结构的耦合波方法的研究
- 在分析耦合波方法与传输矩阵法相互联系的基础上以短波通薄膜滤光片为例,分别计算了正入射和斜入射情况下的修正耦合波方法的计算结果并与一般耦合波法、传输矩阵法计算的结果进行了比较,数值计算的结果表明在入射角度不是太大情况下,修...
- 陈海星黄弼勤顾培夫
- 关键词：传输矩阵法耦合波方程
- 文献传递
- 应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究
- 介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺。选择了光刻胶,铬,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜,利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验,研究了刻蚀环境温度对保护膜的影响。对比与分析了多种试...
- 黄腾超沈亦兵陈海星娄迪侯西云
- 关键词：湿法刻蚀微光机电系统抗腐蚀掩膜
- 文献传递
- 薄膜法布里-珀罗滤光片中的超棱镜效应被引量：13
- 2006年
- 基于薄膜法布里珀罗滤光片在其峰值波长处具有较大群延迟的特性,设计并从实验上验证了光束倾斜入射时这种结构中存在的超棱镜效应。根据光学薄膜理论中的特征矩阵法,数值模拟计算了器件的群延迟和空间色散曲线,镀制并对器件进行了测试。测试结果表明器件在透射峰值波长处因超棱镜效应引起的空间色散最大位移值达到65μm,与理论计算结果非常吻合;相对于传统的光栅和棱镜器件而言器件具有更高的空间角度色散,实际测试在784.5 nm至786.5 nm波长范围内器件的角色散达到30°/nm。
- 陈海星顾培夫吕维阁金波李海峰刘旭
- 关键词：薄膜光学光子晶体
- TiO_2膜消光系数的确定及制备参量的影响被引量：10
- 2005年
- 基于窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出薄膜的消光系数,从而得到了一种简易而又精确的评价薄膜微弱损耗的新方法。阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理,并分析了这种评价方法的基本精度。讨论了离子束溅射TiO2薄膜的制备参量对薄膜消光系数的影响。发现溅射速率和氧分压是影响TiO2薄膜损耗的灵敏因素。在保持其它参量不变的条件下,溅射速率从0.35nm/s下降到0.23nm/s,TiO2薄膜的消光系数从3.9×10-5下降到2.1×10-5;辅助离子源的Ar∶O比从1∶2变化为1∶4,对应的消光系数从5.6×10-5下降到2.3×10-5。此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加。TiO2薄膜消光系数评价的合理性表明由窄带滤光片的峰值透射率来反演薄膜的消光系数是可行的。
- 顾培夫陈海星艾曼灵章岳光刘旭
- 关键词：薄膜光学消光系数窄带滤光片离子束溅射TIO2薄膜
- 应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究被引量：8
- 2004年
- 介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺。选择了光刻胶,铬,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜,利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验,研究了刻蚀环境温度对保护膜的影响。对比与分析了多种试验结果并对其适用范围进行了适当的评价。
- 黄腾超沈亦兵陈海星娄迪侯西云
- 关键词：湿法刻蚀微光机电系统抗腐蚀掩膜
- 膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响被引量：10
- 2004年
- 讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响 ,分析了监控过程中所出现的信号异常现象 ,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致 ,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里珀罗滤光片最后 2层膜折转点波长宽度的一半 ,即对 10 0GHz的滤光片 ,监控系统的光谱宽度必须小于 0 2nm。一旦产生中心波长偏离 ,就必定产生厚度控制误差。讨论了高折射率膜和低折射率膜的信号变化规律 ,发现当中心波长比监控波长长时 ,虽然信号变化规律正确 ,但判读到极值时的膜厚变薄。中心波长偏离越长 ,厚度将越薄。而当中心波长比监控波长短时 ,信号将出现反转。中心波长越短 ,反转量越大。最后指出了监控误差对滤光片Tmax和半峰全宽的影响。
- 顾培夫陆巍陈海星杨毓铭李海峰章岳光刘旭唐晋发
- 关键词：薄膜光学窄带滤光片光谱分辨率中心波长
- 用薄膜光子晶体超晶格概念设计多峰滤光片
- 多峰滤光片在光通讯波分复用技术中潜在着特殊的应用。本文利用薄膜一维光子晶体超晶格的概念，设计了二种薄膜多峰滤光片。第一种是基于二个一维光子晶体迭加的多峰滤光片，它在交叠的禁带上出现多组通带,每组通带又包含着多个透射峰，峰...
- 顾培夫黄弼勤杨立功陈海星刘旭
- 关键词：波分复用系统超晶格
- 文献传递
