顾则鸣
- 作品数:4 被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 相关领域:金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
- 工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响被引量:1
- 1991年
- 本文考察了工艺参数对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层性能的影响,并且研究了镀层的摩擦学性能与其物理机械性能及结晶学特征之间的关系。结果表明,当N/H比为1、Ti/N比为21、沉积温度为400℃和离化电压为1500V时,镀层具有较好的机械性能及耐磨性能。X—射线衍射分析表明,在本试验条件下所获镀层均为(200)面择优取向。作者指出,要制取理想的TiN镀层,离化电压应不低于1500V,沉积温度必须高于300℃。
- 张平余刘洪丛秋滋张绪寿王秀娥顾则鸣
- 关键词:化学气相沉积TIN镀层工艺参数
- 用自动划痕仪测定硬质镀层的结合强度被引量:4
- 1989年
- 作者利用自制的自动划痕试验仪对通过等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备的TiN和TiC镀层进行了划痕试验,考察了底材硬度、镀层厚度、镀层硬度、加载速率、划痕速度及压头(亦称划针)、与镀层间的摩擦状况等因素对表征镀层结合强度的临界载荷的影响。结果表明,临界载荷随底材硬度及镀层硬度的增加而增大,镀层厚度存在一个最佳值,在此值下的临界载荷最大,当加载速率高于100N/min时,临界载荷基本不再受其影响,临界载荷与划痕速度无关,镀层上覆盖固体润滑剂可使临界载荷增大,而覆盖纯油对临界载荷没有影响。
- 张平余刘洪王秀娥顾则鸣侯企贤肖永东
- 气相沉积润滑和耐磨镀层研究情况调查及对今后工作的建议
- 1989年
- 一、前言 摩擦发生在相对运动的物体表面,因此材料的表面特性与运动副的摩擦学特性关系极大。根据摩擦的粘着理论:摩擦系数与材料的剪切强度成正比,与屈服强度成反比。因此,为了降低摩擦,往往在较硬的底材表面涂(镀)一层剪切强度较低的膜作为润滑剂。这种固体膜润滑剂早已得到了应用,特别是在60年代后期,美国NASA的T.Spelvins成功地研制了MoS2溅射膜。从此开辟了用气相沉积镀层(微米级厚度)作润滑膜的新领域。
- 徐锦芬方嘉宝顾则鸣
- 关键词:气相沉积摩擦学特性类金刚石碳膜固体膜润滑离子镀固体润滑
- 利用分子轨道理论研究石墨的润滑机理
- 利用EHMO分子轨道方法完成了石墨及其石墨-吸附氢体系的分子轨道计算,确定了氢原子的最稳定吸附位置、氢原子与石墨之间的电荷转移、净电荷分布和吸附对石墨层间结合力的影响。正是这种层间结合力的变化使得在有气氛条件下石墨的润滑...
- 顾则鸣
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